في قاعة التصنيع، فإن اختلاف درجة الحرارة بمقدار 0.1 درجة مئوية أثناء عملية تسخين الفوتوريزست يكفي لتدمير كل دفعة من رقائق الـ300 مم. لذلك، تم تصميم مصابيح الأشعة تحت الحمراء لمنع حدوث هذا الاختلاف في درجة الحرارة.
الجزء التقني المهم في هذه المصابيح هو استخدام أجزاء كوارتز ذات استجابة سريعة، مما يسمح بتوزيع الحرارة بسرعة وبشكل موضعي. يتم الحفاظ على توحيد درجة الحرارة على سطح الرقاقة بمقدار ±0.1 درجة مئوية، كما أن تكرار درجة الحرارة يظل ضمن نطاق معين. يتم ضبط الطول الموجي للضوء بحيث يصل إلى المكان المناسب، أي إلى طبقة الفوتوريزست، دون أن يؤثر على الطبقات الأخرى. تعمل هذه المصابيح على مدار 24 ساعة، ولا تنتج أي جسيمات، وتوفر بيئة نظيفة من الفئة 1 إلى الفئة 100.
في عملية الطباعة، نحتاج إلى تسخين الفوتوريزست لإخراج المذيبات منه وتحديد شكله. كما أن التسخين الشديد يساعد في تثبيت الشكل قبل عملية النقش. كلا الخطوتين تتطلبان درجة حرارة مستقرة وموحدة. تساعد هذه المصابيح في الحفاظ على استقرار درجة الحرارة، مما يقلل من تغيرات عرض الخطوط ويمنع ظهور الشوائب بعد عملية التطوير.
النتيجة؟ زيادة معدل الإنتاج، وتقليل عدد الدفعات التي يجب إعادة معالجتها، بالإضافة إلى تحكم دقيق في درجة الحرارة. كما أن استهلاك الطاقة يقل، لأن المصابيح تسخن المنطقة المطلوبة فقط، وليس كل البيئة المحيطة.
بعض الملاحظات العملية: يجب تركيب المصابيح بعناية، مع الحرص على توفير بيئة نظيفة للحفاظ على مستوى الجسيمات في الحدود المطلوبة. كما أن شدة الإشعاع تكون مضبوطة لتتناسب مع نوع الرقائق المستخدمة، لذا إذا تغير نوع الرقائق، قد يكون من الضروري تعديل إعدادات المصابيح.
يجب التخطيط لدمج هذه المصابيح مع أجهزة التحكم في درجة الحرارة مسبقًا. بمجرد التنسيق بينها، يمكن البدء في العملية دون أي مشاكل.