في غرفة الطباعة بالليثوغرافيا، يؤدي أدنى انحراف في درجة حرارة المرحلة إلى خطأ في قياسات القطر الداخلي للقرص. كما أن دقة عملية تسخين المادة المستخدمة في الطباعة تعتمد على مدى استقرار درجة الحرارة تحت تأثير الشعاع. ما نحتاجه هو جهاز تسخين يقوم بتوزيع الحرارة بشكل دقيق، وليس مجرد إضافة الحرارة فقط.
ما هو مهم من الناحية التقنية: لقد صممنا جهاز التسخين باستخدام مواد ذات انبعاثات حرارية منخفضة، بالإضافة إلى مصباح هالوجين/كوارتز يعمل بسرعة، في المكان المناسب بالضبط. في منطقة القياس، تظل درجة الحرارة ثابتة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، وتظل دقة القيم المحددة ضمن نطاق ±0.05 درجة مئوية.
يعمل النظام بدون أي حوادث تتعلق بالجسيمات، مما يضمن الالتزام بمعايير الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى 100، دون التأثير على سلامة الغرفة. يتم تعديل مستوى الطاقة المستخدمة لضمان استقرار درجة الحرارة، مما يسمح بالحفاظ على دقة تحكم الحرارة، وبالتالي عدم حدوث أخطاء في قياسات القطر الداخلي للقرص.
تأتي موثوقية النظام على مدار 24 ساعة من خلال التحكم الدقيق في درجة الحرارة والواجهات الكهربائية المستقرة، مما يجعل وقت التوقف غير المخطط له صفرًا.
لماذا هذا مهم في الواقع العملي: في قياسات القطر الداخلي للقرص، يؤدي أي انحراف في درجة الحرارة إلى أخطاء في القياسات، وبالتالي إلى هدر في المواد المستخدمة. مع جهاز التسخين هذا، تظل درجة حرارة المرحلة ثابتة تحت تأثير الشعاع، مما يضمن استقرار قياسات القطر الداخلي للقرص.
وبالتالي، يقل عدد عمليات القياس المتكررة، ويقل الحاجة إلى إعادة العمل، ويظل جدول الإنتاج كما هو. كما يقل استهلاك الطاقة، لأن الحرارة تُطبق فقط في المكان المناسب، ويقل وقت تهدئة المرحلة بين كل رقاقة.
ما يجب التخطيط له: يجب أن يتم التركيب بدقة، مع التأكد من وجود فاصل حراري مناسب، وإلا فإن ذلك سيؤدي إلى توليد حرارة زائدة. يعتمد التوافق مع النظام على هندسة الغرفة وواجهات الاستشعار، لذلك نقوم بالتحقق من التوافق وضبط دوائر التحكم في الموقع.
يجب التخطيط لفترة تشغيل قصيرة لتحديد قيم PID المناسبة لإعدادات الـ SEM الخاصة بك ولطبقات الرقائق.