ফোটোরেজিস্টের স্থিতিশীলতা অপরিহার্য। পরিষ্কার করার পরও যদি একটি ক্ষুদ্র আর্দ্রতা থেকে যায়, তাহলে উৎপাদনে ত্রুটি দেখা দেবে। সফট বেক ও হার্ড বেকের জন্য থার্মাল বাজেটও খুবই সীমিত। ঐতিহ্যগত শুকানো পদ্ধতিতে তাপমাত্রা পরিবর্তিত হয়; ফলে কণাসংখ্যা ও লাইন-ওয়াইডথ নিয়ন্ত্রণ করা কঠিন হয়ে যায়।
আমাদের সৌরকোষ ওয়েফার শুকানোর জন্য ব্যবহৃত ল্যাম্পটি ওয়েফারের সর্বত্র ±0.1°C তাপীয় স্থিতিশীলতা বজায় রাখে। এটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ইমিটার ব্যবহার করে এই কাজটি করে; ফলে ফোটোরেজিস্ট প্রক্রিয়াটি পুনরাবৃত্তিযোগ্য হয়। এটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এ ব্যবহার করা যায়; 5,000+ ঘণ্টা কাজ করার পরও তাপমাত্রার পরিবর্তন 5% এর কম হয়। ইন্টিগ্রেটেড কোয়ার্টজ শিল্ডিং ও সিলড থার্মাল পাথ দ্বারা দূষণ রোধ করা হয় এবং তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে।
লিথোগ্রাফি ও ইচিং প্রক্রিয়ায় এর গুরুত্ব কী?
যদি তাপীয় নিয়ন্ত্রণ ঠিক না থাকে, তাহলে ওয়েফার শুকানোর প্রক্রিয়াটি ধীর হয়ে যায়। এই ল্যাম্পটি ব্যবহার করলে থার্মাল বাজেটের মধ্যেই শুকানোর সময় কমে যায়; ফলে কাজের গতি বাড়ে এবং গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলো নিয়ন্ত্রণে থাকে। পুনরাবৃত্তিযোগ্য তাপমাত্রার কারণে পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়; ফলে বর্জ্য কমে যায় এবং কাজের সময়ও কমে যায়। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়; কারণ ল্যাম্পটি শুধুমাত্র নির্দিষ্ট এলাকাকেই উত্তপ্ত করে এবং শুকানোর প্রক্রিয়া শেষ হলেই বন্ধ হয়ে যায়।
কিছু ব্যবহারিক বিষয়:
ল্যাম্পটির জন্য 24 VDC বিদ্যুৎ প্রয়োজন; আর স্পিন-ড্রাই স্টেশনের পাশেই এটিকে স্থাপন করা উচিত, যাতে সঠিকভাবে সারিবদ্ধ থাকে। এটি 150 মিমি ও 200 মিমি আকারের ওয়েফারগুলোর জন্য ব্যবহার করা যায়; 300 মিমি আকারের ওয়েফারগুলোর জন্য সামান্য পরিবর্তন করলেই হবে। নিজের প্রক্রিয়ার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত থার্মাল কোয়ালিফিকেশন টেস্ট করা উচিত।