Přestaňte plýtvat teplem při zpracování waferů
Buďme upřímní: většina zařízení na ohřev waferů je překvapivě neefektivní. Pokud používáte běžné křemíkové lampy, ty vyzařují teplo do všech směrů – 360 stupňů. To znamená, že polovina vaší drahé elektřiny slouží pouze k zahřívání samotného zařízení, místo aby se skutečně dostala na silikon. Je to plýtvání energií a zároveň problém pro systémy chlazení.
Vyřešili jsme to tím, že jsme použili zlaté odrazivé povlaky, které umožňují směrovat teplo přesně tam, kam je potřeba.
Proč zlato?
Jde o to, jak zlato zachází s infračervenými vlnami. Je opravdu účinné při jejich odrazu. Díky přidání tenké vrstvy zlata na odrazivý povrch zabráníme tomu, aby infračervené vlny unikly pryč, a namísto toho je nasměrujeme zpět na povrch waferu.
Cílem není prostě „zvýšit teplotu“. Jde o kontrolu. Máte tak mnohem intensivnější paprsek tepla na cílovém místě, aniž byste museli zvyšovat výkon.
Úspory na účtech za elektřinu
Při návrhu systému chcete dosáhnout požadované teploty co nejrychleji. Odrazivé povlaky z zlata eliminují „únik tepla“, který obvykle přeměňuje vakuumovou komoru na troubu. To znamená, že potřebujete méně energie na jeden wafer. Pokud provozujete vysokoproudý systém s stovkami lamp, tyto malé úspory se summují do velké úspory v měsíčních nákladech na energii.
Jedna rada
Existuje však kompromis. Protože je teplo tak soustředěné, věci se pohybují velmi rychle. Budete muset pečlivě sledovat nastavení PID regulace. Pokud je váš regulační okruh trochu pomalý, můžete překročit požadovanou teplotu a poškodit substrát, než stačí systém zareagovat.
Dobrá zpráva? Tyto odrazivé povlaky lze nahradit za použití starých hliníkových nebo leštěných ocelových částí, bez nutnosti celkové přestavby. Vaše zařízení zůstane chladnější, ventilátory nemusí pracovat na plný výkon a tepelný výdej zůstane nízký. Jen se ujistěte, že vaše senzory jsou připraveny na vyšší intenzitu tepla.