V prostoru určeném k litografii může i sebemenší pohyb stacionáře v SEM přístroji narušit přesnost měření velikosti CD. Profil zahřívání fotorezistentu je tak přesvědčivý pouze tehdy, pokud je termální stabilita v oblasti působení paprsku dostatečná. Potřebujete tedy ohřívač, který nejen dodává teplo, ale také ho reguluje s přesností.
Co je z technického hlediska důležité Ohřívač v SEM přístroji jsme vyrobili z materiálů s nízkou emisí tepla a s použitím halogenové/quartzové lampy, která reaguje rychle právě tam, kde je to potřeba. V celé měřicí oblasti zůstává rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, zatímco opakovatelnost nastavené teploty zůstává v rozmezí ±0,05 °C.
Systém funguje bez jakýchkoli problémů spojených s částicemi, což umožňuje použití čistých prostor třídy 1–100, aniž by došlo ke narušení integrity komory. Dodávka energie je nastavena tak, aby byly teploty stabilní – kontrola šířky linie a opakovatelnost profilu tedy nekolísají.
Dvacetčtyřhodinová spolehlivost systému spočívá v kontrolovaném termálním cyklu a spolehlivých elektrických interfejsech, takže dojde k minimálním přerušením provozu.
Proč je to důležité v praxi V měřeních pomocí SEM se termické kolísání přímo mění v chyby měření – a to vede ke znehodnocení výrobků. Díky tomuto ohřívači zůstává teplota stacionáře stabilní pod působením paprsku, takže data o rovnoměrnosti velikosti CD zůstávají statisticky stabilní mezi jednotlivými sériemi výrobků.
Výsledkem je méně opakovaných měření, méně práce na opravách a zachování plánu výroby. Spotřeba energie je také nižší, protože teplo je dodáváno pouze tam, kde je to potřeba, a rychlé dosažení požadované teploty zkracuje dobu přípravy stacionáře mezi jednotlivými deskami.
Na co je potřeba se připravit Instalace musí být přesná – je potřeba správné mechanické uspořádání a termická izolace, jinak vzniknou parazitní cesty pro teplo. Kompatibilita závisí na geometrii komory a rozhraní senzorů stacionáře, proto validujeme jejich vhodnost a upravujeme řídicí obvod na místě.
Plánujte krátký testovací provoz, abyste stanovili konstanty PID pro vaši konkrétní konfiguraci SEM a vrstvu desek.