Deje de desperdiciar calor en el proceso de procesamiento de obleas
Seamos honestos: la mayoría de los sistemas de calentamiento de obleas son sorprendentemente ineficientes.
Si utiliza lámparas de cuarzo estándar, estas emiten calor en todas las direcciones: 360 grados. Eso significa que la mitad de la energía eléctrica que se consume se utiliza únicamente para calentar el chasis de la máquina, en lugar de llegar al silicio. Es un desperdicio de energía y también representa un problema para los sistemas de enfriamiento.
Hemos resuelto este problema utilizando recubrimientos reflexivos de oro, lo que permite dirigir ese calor exactamente donde es necesario.
¿Por qué el oro?
Se debe a cómo el oro maneja las ondas infrarrojas. Es excepcionalmente bueno para reflejarlas. Al añadir una capa precisa de oro al reflector, evitamos que las ondas infrarrojas se dispersen y las dirigimos hacia la superficie de la oblea.
El objetivo no es simplemente “calentar más”, sino controlar el calor. Se obtiene así un haz de calor más intenso y preciso, sin necesidad de aumentar la potencia.
Ahorro en la factura de electricidad
Al diseñar un sistema, lo que se quiere es alcanzar la temperatura deseada lo más rápido posible.
Los reflectores revestidos de oro evitan esa “fuga” de calor que suele convertir la cámara de vacío en un horno. Esto significa que se necesita menos energía por oblea. Si se usa un sistema con cientos de lámparas, esos pequeños ahorros suman una gran reducción en los costos mensuales de energía.
Un consejo importante
Existe un equilibrio a mantener. Dado que el calor está muy concentrado, las cosas suceden muy rápidamente. Tendrá que vigilar cuidadosamente la configuración del control PID. Si el sistema de control es lento, es posible que se supere la temperatura deseada y se dañe el sustrato antes de que el sistema pueda reaccionar.
La buena noticia es que estos reflectores son reemplazables directamente. Puede sustituir sus piezas antiguas de aluminio o acero pulido sin necesidad de rediseñar todo el sistema. Su equipo permanecerá más frío, los ventiladores no tendrán que funcionar a máxima potencia, y su consumo energético se mantendrá bajo control. Solo asegúrese de que sus sensores estén preparados para esa intensidad adicional.