Secar las obleas de MEMS sin causar desorden
Cuando se fabrican sensores MEMS, lo último que se desea es que un grano de polvo o una mancha química arruine la oblea. Pero eliminar la humedad y los disolventes de esas superficies no es fácil.
Durante mucho tiempo, la gente utilizó hornos con aire forzado. El problema era que consumían mucha energía y dependían del movimiento del aire. En una sala limpia, hacer que el aire circule solo sirve para que las partículas polvorientas se acumulen allí.
Por eso pasamos a utilizar calentadores por infrarrojos de onda corta. En lugar de calentar el aire, utilizamos radiación. No hay ventiladores ni aire en circulación, lo que reduce considerablemente los contaminantes.
¿Cómo funciona realmente?
Imagínelo así: los calentadores por infrarrojos no se preocupan por el aire de la habitación. Actúan directamente sobre las moléculas de agua y los residuos de disolventes. Los fotones impactan en la superficie, haciendo que las moléculas vibren; el líquido simplemente desaparece. Todo ocurre casi al instante. No hay necesidad de gastar kilovatios para calentar una caja metálica enorme; solo se calienta la oblea. Es una forma mucho más eficiente de utilizar la energía.
El aspecto “ecológico”
La industria está pasando a usar tecnologías sin plomo y respetuosas con el medio ambiente. Honestamente, ya era hora.
La curado por infrarrojos encaja perfectamente en esta tendencia. No se necesitan esos aditivos químicos que utilizaban los métodos tradicionales. No hay compuestos orgánicos volátiles que se liberen del elemento calefactor. Es simplemente energía limpia que se transfiere de un punto a otro.
Las desventajas (porque nada es perfecto)
Ahora bien, aquí está el problema: las lámparas de infrarrojos de alta intensidad son extremadamente potentes, lo cual es bueno para acelerar el proceso. Pero también pueden ser demasiado agresivas. Si se activa la lámpara de repente, el aumento brusco de temperatura puede dañar la oblea. Para evitar esto, se necesita un controlador PID para mantener la temperatura bajo control.
Y un consejo: esos envoltorios de cuarzo de las lámparas son muy frágiles. Un movimiento torpe durante el cambio de herramientas puede causar que la lámpara se rompa.
Hemos diseñado estos sistemas para que se integren fácilmente en sus equipos de secado existentes. De esta manera, podrá procesar las obleas más rápido y su proceso será mucho más limpio. Solo asegúrese de que su sistema de enfriamiento pueda manejar el calor generado por las lámparas.