در این مرحله، تنظیم دمای لازم برای پخت فوتورزیست انجام میشود؛ یعنی در این مرحله است که مقدار انرژی حرارتی مورد نیاز تعیین میگردد. اگر دمای ناحیه گرم شدن تغییر کند یا شیشه شروع به تغییر شکل دهد، کنترل دما از بین خواهد رفت و بازدهی تولید کاهش خواهد یافت. در کارخانههای تولید پنلهای LCD، سطح زیرلایه بسیار بزرگ است و حساس به دماست؛ بنابراین کنترل دقیق دما ضروری است. ما گرمکنهای مادون قرمز خود را طوری طراحی کردهایم که پروفایل حرارتی ثابت و قابل کنترل باقی بماند.
نکات فنی مهم:
گرمکنهای مادون قرمز ما، یکنواختی حرارتی در سطوح بزرگ را فراهم میکنند؛ همچنین، استabilite دما در سطح مورد نگاه، در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد است. سیستم تولید حرارت با استفاده از کوارتز-هالوژن، جریان حرارتی زیادی را تولید میکند؛ این جریان حرارتی به سرعت پاسخ میدهد و کنترل دقیقی دارد؛ بنابراین دمای مورد نظر در تمام مراحل پخت، در محدوده مشخصی باقی میماند.
سازگاری این گرمکنها با محیطهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰، از همان ابتدا در طراحی آنها لحاظ شده است. موادی که گاز کمی تولید میکنند، اتصالات بسته، و سیستمهای جریان هوای بهینه، باعث میشوند تعداد ذرات در محیط کنترل شود و آلودگی ایجاد نشود. عدم تولید هیچ ذرهای در حین چرخههای حرارتی، از آسیب رسیدن به لایههای فوتورزیست جلوگیری میکند.
چرا این روش مؤثر است؟
در فرآیند لیتوگرافی، مرحله پخت، یک مرحله جداگانه نیست؛ بلکه به کل فرآیند کمک میکند. یکنواختی حرارتی، باعث کاهش تغییرات در اندازه خطوط و کوتاه شدن آنها میشود؛ همچنین، قابلیت تکرارپذیری، باعث میشود که کیفیت پخت در هر دفعه یکسان باقی بماند. پاسخ سریع حرارتی، زمان چرخه را کاهش میدهد؛ همچنین، کارایی بالای انتقال حرارت، مصرف انرژی را کاهش میدهد. در نتیجه، تعداد کارهای تکراری کمتر میشود، مقدار زباله کمتر میشود، و کیفیت تولید قابل پیشبینی خواهد بود.
نکاتی که باید بدانید:
این گرمکنها کوچک و قابل استفاده در سیستمهای مختلف هستند؛ اما ادغام آنها به صورت ساده امکانپذیر نیست. باید خروجی لامپها را با شکل محفظه تطبیق داد، دماسنج را مطابق با خواص انتشار حرارتی شیشه تنظیم کرد، و پروفایل جریان هوا را طوری تنظیم کرد که یکنواختی حرارتی حاصل شود. همچنین، باید یک آزمایش کوتاه انجام داد تا تنظیمات PID برای لایههای زیرلایه و سرعت نقاله مناسب شود.