در کف کارخانه، پایداری دمای نرمپخت یک ترجیح نیست—بلکه خطی است که بین حفظ ابعاد بحرانی و تماشای تبدیل ویفرها به ضایعات کشیده شده است. جابجایی 1.5°C حاشیه پروفیل فوتورزیست را از بین میبرد و هر ذره تولید شده در طول پخت، لایه بعدی را آلوده میکند. ما عنصر گرمایشی نرمپخت لیتوگرافی را طراحی کردیم تا این حالتهای خرابی را از ریشه حذف کند.
هسته آن، یک لامپ هالوژن مادون قرمز موج کوتاه (SWIR) در پوسته کوارتزی است که انتقال حرارت سریع و مستقیم به داخل رزیست را فراهم میکند. در سراسر ناحیه پخت، یکنواختی سطح ویفر ±0.1°C حفظ شده و تغییرات دمایی به سرعت تثبیت میشود به طوری که زمان چرخه روی خط از دست نمیرود.
این مونتاژ برای کلاس 1–100 اتاق تمیز ساخته شده است. در طول پروفیلهای پخت مداوم، ذراتی تولید نمیکند و عمر سرویس آن بیش از 5,000 ساعت بوده بدون هیچگونه تغییر در خروجی. این عنصر با استفاده از رابطها و کانکتورهای مکانیکی استاندارد، به آسانی روی پلتفرمهای اصلی خط لیتوگرافی نصب میشود، بنابراین تعویض آن باعث توقف خط نمیشود بلکه فقط جایگزین جزئیات میشود.
این عنصر در لیتوگرافی اهمیت خود را حفظ میکند زیرا بودجه حرارتی را محافظت میکند. وقتی دمای پخت ثابت است، غلظت و ضخامت رزیست و ابعاد بحرانی (CD) بعد از تابش نیز ثابت میمانند. این موضوع باعث ایجاد پنجرههای فرآیندی دقیقتر و کاهش انحرافات شده و مصرف انرژی به دلیل انتقال تابشی کارآمد و عایقبندی حرارتی دقیق، پایین میماند.
نصب آن ساده است به شرطی که ولتاژ ابزار خط و کالیبراسیون سیگنال کنترل را هماهنگ کنید. برای ادغام، زمان 1–2 ساعت برنامهریزی کنید و پروفیل پخت را بر اساس لایه رزیست خود تأیید کنید. تنظیمات دمای کوره و خروجی لامپ بدون تنظیم مجدد قابل تعویض نیستند.
زمانی که تنظیم شد، این عنصر به صورت 24/7 با فواصل نگهداری پیشبینیشده کار میکند و متوقف شدن ناگهانی ندارد.