دیگر اجازه ندهید انرژی هدر برود: حقیقت درباره فرآیند خشک کردن ویفرها
وقتی که در حال خشک کردن ویفرها هستید، در واقع در حال مدیریت محدودیتهای انرژی هستید. اگر از لامپ خشککن بدون آینه مناسب استفاده کنید، در واقع نیمی از انرژی خود را به بیرون تلف میکنید؛ این یک هدررفت انرژی است.
ما از آینههای تخصصی برای بازتاب دادن انرژی مادون قرمز به سمت ویفرها استفاده میکنیم. این کار باعث میشود گرما در جای خود باقی بماند؛ در نتیجه، میتوانید ویفرها را سریعتر از چرخه خشککردن عبور دهید.
همه چیز به زاویه بستگی دارد.
شکل آینه، تعیین میکند که گرما چگونه به سطح ویفر برخورد میکند. ما زمان زیادی را صرف انتخاب شکلهای مناسب برای آینهها میکنیم؛ تا اطمینان حاصل کنیم که تابش گرما به طور یکنواخت پخش شود.
چرا؟ چون «نقاط داغ» مشکلات زیادی ایجاد میکنند؛ آنها باعث تغییر شکل ویفرها میشوند و فرآیند خشک کردن را مختل میکنند.
نکته مهم این است که اگر زاویه آینه حتی چند درجه اختلاف داشته باشد، نواحی سردی ایجاد خواهد شد. اکثر افراد سعی میکنند این مشکل را با افزایش توان لامپ حل کنند؛ اما این اشتباه است. با این کار، فقط لامپها خراب میشوند و عمر آنها کوتاه میشود.
تجهیزات و دادهها
ما از سطوح آلومینیومی با خلوص بالا یا سطوح پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم؛ این سطوح بهترین عملکرد را در کار با امواج کوتاه و متوسط دارند. مهمتر از آن، این سطوح میتوانند در برابر تغییرات دمایی مقاومت کنند. این تجهیزات مدام در معرض تغییرات دمایی قرار دارند؛ بنابراین باید مقاومت کافی داشته باشند.
در کارخانههای مدرن، ما فقط این تجهیزات را روشن کرده و فراموش نمیکنیم؛ بلکه آنها را به کنترلرهای دیجیتال متصل میکنیم تا بتوانیم میزان مصرف انرژی و منحنیهای دمایی را زیر نظر داشته باشیم. این کار بسیار مفید است؛ زیرا میتوانیم در همان لحظه متوجه شویم که آیا آینه در حال اکسید شدن است یا لامپ در حال از کار افتادن است؛ تا از خراب شدن کل مجموعه ویفرها جلوگیری کنیم.
معایب
البته، یک مشکل وجود دارد. وقتی که انرژی زیادی در فضای کوچکی تمرکز میشود، دما بسیار بالا میرود. نمیتوانید فقط این تجهیزات را روشن کنید و امیدوار باشید که همه چیز خوب پیش برود. برای محافظت از تجهیزات، به یک سیستم خنککننده قوی نیاز دارید.
اگر سیستم خنککننده کار نکند، گرما لایههای روی آینه را از بین خواهد برد؛ در نتیجه، کارایی تجهیزات کاهش خواهد یافت و دوباره مشکلات قبلی ایجاد خواهد شد.