در بخش لیتوگرافی، حتی کوچکترین تغییر در دمای سکوی SEM میتواند منجر به اختلالاتی در اندازهگیری قطر دیسک شود. همچنین، پروفیل گرمایشی فوتورزیست نیز تنها زمانی قابل تکرار است که پایداری حرارتی در معرض پرتو نور مناسب باشد. آنچه لازم است، یک گرمکن است که نه تنها گرما تولید کند، بلکه آن را نیز به خوبی کنترل کند.
موارد مهم از نظر فنی
ما گرمکن SEM را با استفاده از موادی که گاز کمی تولید میکنند و لامپهای هالوژن/کوارتز ساختیم؛ این لامپها به سرعت و در جایی که لازم است، واکنش نشان میدهند. در منطقه اندازهگیری، یکنواختی دمای ویفرها در حد ±۰٫۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، تکرارپذیری مقادیر اندازهگیری نیز در حد ±۰٫۰۵ درجه سانتیگراد است.
این سیستم بدون هیچگونه اختلالی کار میکند؛ بنابراین شرایط اتاق پاکسازی در سطح ۱ تا ۱۰۰ حفظ میشود، بدون اینکه سلامت اتاق مختل شود. تأمین انرژی نیز به گونهای تنظیم شده است که پروفیل گرمایشی ثابت بماند؛ بنابراین کنترل عرض خطوط و تکرارپذیری پروفیلها نیز دچار تغییر نمیشود.
قابلیت کارکرد ۲۴ ساعته این سیستم، مدیون چرخههای حرارتی کنترلشده و رابطهای الکتریکی محکم است؛ بنابراین هیچ توقف غیرمنتظرهای رخ نمیدهد.
چرا این موضوع اهمیت دارد؟
در اندازهگیریهای SEM، تغییرات حرارتی میتواند منجر به خطاهای اندازهگیری شود؛ اما با استفاده از این گرمکن، دمای سکو در معرض پرتو نور ثابت میماند؛ بنابراین دادههای مربوط به یکنواختی قطر دیسک نیز از نظر آماری پایدار خواهد بود.
در نتیجه، نیاز به اندازهگیریهای مجدد کمتر میشود؛ همچنین، برنامههای تولید نیز دچار اختلال نمیشوند. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا گرما تنها در جایی که لازم است تولید میشود؛ همچنین، زمان لازم برای تنظیم دمای سکو بین ویفرها نیز کاهش مییابد.
چه چیزهایی باید در نظر گرفت؟
نصب این سیستم باید به دقت انجام شود؛ باید فاصله مکانیکی مناسب و عایقبندی حرارتی مناسب وجود داشته باشد؛ در غیر این صورت، مسیرهای گرمایی اضافی ایجاد خواهد شد. سازگاری این سیستم با شرایط اتاق و رابطهای حسگرهای سکو، بستگی به مهندسی اتاق دارد؛ بنابراین ما کارایی سیستم را در محل بررسی کرده و حلقه کنترل را تنظیم میکنیم.
همچنین، باید یک آزمایش کوتاه برای تنظیم ثابتهای PID برای ساختار خاص SEM و ویفرها انجام شود.