Comment sécher les wafers MEMS sans créer de saleté
Lors de la fabrication de capteurs MEMS, ce qu’on veut absolument éviter, c’est que des particules de poussière ou des résidus chimiques endommagent les wafers. Mais éliminer l’humidité et les solvants de ces surfaces n’est pas facile.
Pendant longtemps, on a utilisé des fours à air forcé. Le problème ? Ils consomment beaucoup d’énergie et dépendent de la circulation de l’air. En environnement propre, cela signifie simplement inviter les particules à se rassembler dans la pièce.
C’est pourquoi nous avons opté pour des chauffages à infrarouge à ondes courtes. Au lieu de chauffer l’air, nous utilisons la radiation. Pas de ventilateurs, pas de circulation d’air, donc beaucoup moins de contaminants.
Comment ça marche en réalité
Imaginez : les chauffages à infrarouge ne s’intéressent pas à l’air présent dans la pièce. Ils ciblent directement les molécules d’eau et les résidus de solvants. Les photons frappent la surface, font vibrer les molécules, et le liquide disparaît littéralement. Cela se produit presque instantanément. Vous ne gaspillez pas d’énergie à chauffer une boîte métallique ; vous ne chauffez que le wafer. C’est beaucoup plus efficace.
L’aspect écologique
L’industrie tend vers des normes sans plomb et plus écologiques. Ce n’est que justice. Les chauffages à infrarouge s’intègrent parfaitement dans cette logique. Il n’y a pas besoin de ces additifs chimiques dangereux utilisés par les anciens systèmes de séchage. Aucun COV ne s’échappe du dispositif de chauffage. C’est simplement de l’énergie propre qui se déplace d’un point à un autre.
Les inconvénients (Car rien n’est parfait)
Il y a tout de même quelques problèmes. Les lampes à infrarouge à haute intensité sont extrêmement puissantes – ce qui est bien pour accélérer le processus – mais elles peuvent être trop agressives. Si vous allumez brusquement la lampe, la forte augmentation de température peut endommager le wafer. Pour éviter cela, il faut un contrôleur PID fiable pour réguler la puissance de sortie.
Et un conseil : ces enveloppes en quartz des lampes sont très fragiles. Un geste maladroit pendant le changement d’outil peut endommager la lampe. Nous avons conçu ces systèmes pour qu’ils s’intègrent facilement dans vos anciens systèmes de séchage. Vous pourrez ainsi traiter vos wafers plus rapidement, et votre processus sera beaucoup plus propre. Assurez-vous simplement que votre système de refroidissement puisse gérer la chaleur émise par les lampes.