Passer de l’air forcé à des lampes infrarouges sans ozone dans le semi-traitement des semi-conducteurs
Si vous utilisez encore une circulation d’air chaud pour le traitement des semi-conducteurs, vous perdez probablement beaucoup de temps rien que pour attendre que la température souhaitée soit atteinte.
Passer à des lampes infrarouges sans ozone, ce n’est pas seulement changer de type de chaleur utilisée. C’est aussi éliminer ce temps d’attente ennuyeux.
Le problème du temps d’attente
Pensez au fonctionnement de l’air forcé : il faut d’abord chauffer l’air, puis cet air doit ensuite chauffer votre matériau à traiter. Il s’agit donc d’unintermédiaire entre la lampe et le matériau. Vous passez donc des minutes à attendre que la température souhaitée soit atteinte.
Les lampes infrarouges éliminent cet intermédiaire. L’énergie va directement de la lampe au matériau à traiter. On parle alors de réduction du temps de chauffage de quelques minutes à quelques secondes à peine. C’est comme actionner un interrupteur.
Le problème de l’ozone
Voici la partie délicate : la plupart des lampes infrarouges standard émettent des rayonnements dans la plage des 185 nanomètres. Le problème ? Cela produit de l’ozone. Dans une salle propre, l’ozone est un véritable cauchemar : il endommage les joints et oxyde les composants qui doivent rester intacts. Pour résoudre ce problème, on utilise des filaments filtrés et des enveloppes en quartz spéciales. Ainsi, on obtient une chaleur intense, sans aucun risque de contamination chimique.
Adapter correctement l’installation
On ne peut pas simplement brancher ces lampes et s’en tenir là. Elles consomment beaucoup d’énergie, il est donc nécessaire que la régulation de tension soit parfaite – sinon, les lampes se brûleront très rapidement.
Et un avertissement : ces lampes deviennent très chaudes. Vraiment très chaudes. Si vous voulez obtenir une chaleur maximale, évitez d’utiliser des supports bon marché. Ils se déformeront. Préférez des supports en céramique résistante à haute température si vous voulez que les lampes durent longtemps.
Les inconvénients
Rien n’est parfait. Les lampes infrarouges sont extrêmement rapides, mais leur chaleur est directionnelle. Contrairement à l’air chaud, qui réchauffe tout autour du matériau à traiter, les lampes infrarouges ne réchauffent que ce qu’elles peuvent “voir”. Si vos pièces ont des formes complexes ou des recoins profonds, vous aurez des zones froides. Il faudra donc prendre le temps de bien organiser l’arrangement des lampes ou d’utiliser des réflecteurs. Cela demande quelques ajustements, mais une fois que la chaleur est uniformément répartie sur toute la surface du wafer, la vitesse de traitement en vaut la peine.