Arrêtez de gaspiller de la chaleur : la vérité sur le processus de durcissement des wafer
Lorsque vous durcissez des wafer, vous devez gérer au mieux votre consommation d’énergie. Si vous utilisez une lampe de durcissement sans réflecteur adéquat, vous perdez en réalité la moitié de l’énergie produite. C’est un gaspillage.
Nous utilisons des réflecteurs spécialisés pour diriger cette énergie infrarouge directement vers le wafer. Ainsi, la chaleur reste là où elle doit être, ce qui permet de terminer plus rapidement le processus de durcissement.
C’est tout une question d’angle.
La forme du réflecteur détermine précisément comment la chaleur atteint la surface du wafer. Nous prenons beaucoup de temps à ajuster les courbes du réflecteur – en utilisant des formes paraboliques ou elliptiques – afin que les rayonnements soient répartis de manière uniforme.
Pourquoi ? Parce que les « points chauds » sont un vrai problème. Ils déforment les wafer et gâchent le processus de durcissement.
Et voici le plus important : si le réflecteur n’est pas correctement positionné, des zones froides apparaissent. La plupart des gens tentent de résoudre ce problème en augmentant simplement la puissance de la lampe. C’est une erreur. Vous ne faites que endommager les lampes et raccourcir leur durée de vie.
Les composants et les données
Nous utilisons des substrats en aluminium de haute pureté ou recouverts d’or. Ceux-ci permettent de gérer les spectres à ondes courtes et moyennes de manière optimale. De plus, ils peuvent résister aux cycles thermiques répétitifs – chauffage et refroidissement – sans se détériorer.
Dans une usine moderne, on ne peut pas simplement « configurer et oublier ». Nous connectons ces systèmes à des contrôleurs numériques pour surveiller la consommation d’énergie et les variations de température. Cela est essentiel pour éviter de gâcher toute une série de wafer.
Les compromis
Il y a bien sûr des compromis à envisager. Lorsque l’on concentre autant d’énergie dans un espace aussi restreint, la température monte très rapidement. On ne peut pas simplement brancher ces équipements et espérer le meilleur. Il faut absolument disposer d’un système de refroidissement efficace pour protéger les composants et les câbles.
Si le système de refroidissement échoue, la chaleur endommagera le revêtement du réflecteur. Une fois cela arrivé, l’efficacité du système diminue, et il faut recommencer tout depuis le début.