Dans la salle de lithographie, le moindre déplacement de l’étage du SEM peut entraîner des erreurs dans les mesures de la largeur de traçé. De plus, la précision des mesures dépend de la stabilité thermique sous l’effet du faisceau lumineux. Il est donc nécessaire d’utiliser un chauffage qui ne se contente pas d’ajouter de la chaleur, mais qui la contrôle avec précision.
Ce qui est important sur le plan technique Nous avons conçu le chauffage pour SEM en utilisant des matériaux à faible émission de gaz, ainsi qu’une lampe à halogène/quartz qui répond rapidement, juste là où c’est nécessaire. Dans toute la zone de mesure, l’uniformité de température reste à ±0,1 °C, et la répétabilité des valeurs mesurées reste dans les limites de ±0,05 °C.
Le système fonctionne sans aucun problème lié aux particules, ce qui permet de respecter les normes des salles propres de classe 1–100, sans compromettre l’intégrité de la chambre. L’alimentation en énergie est ajustée de manière à garantir des profils de chauffage stables ; ainsi, les températures de cuisson restent dans les limites prévues, ce qui permet de maintenir un contrôle précis de la largeur de traçé et une répétabilité des mesures.
Une fiabilité sur 24 heures est assurée par des cycles thermiques contrôlés et des interfaces électriques fiables, ce qui évite tout arrêt imprévu.
Pourquoi cela est important en pratique En métrologie SEM, les variations thermiques se traduisent directement en erreurs de mesure, ce qui entraîne des rejets de produits. Avec ce chauffage, la température de l’étage reste constante sous l’effet du faisceau lumineux, ce qui permet de garder des données statistiquement stables pour chaque lot de produits.
Cela permet de réduire le nombre de mesures nécessaires, ainsi que le travail de correction. De plus, l’utilisation d’énergie est optimisée, car la chaleur est appliquée uniquement là où c’est nécessaire. Le temps nécessaire pour préparer l’étage entre deux wafers est également réduit.
Ce qu’il faut prendre en compte lors de la planification L’installation doit être précise : il est nécessaire de respecter les distances mécaniques appropriées et d’assurer une bonne isolation thermique, sinon des chemins de dissipation thermique parasites seront créés. La compatibilité dépend de la géométrie de la chambre et de l’interface des capteurs de l’étage ; nous validons donc l’adaptation du système sur site et ajustons le circuit de contrôle.
Il est également nécessaire de planifier une courte période de mise en service afin de déterminer les constantes PID adaptées à votre configuration spécifique de SEM et à votre pile de wafers.