Pourquoi nous sommes passés au séchage par rayonnement infrarouge en milieu propre
Dans les usines de semi-conducteurs, être “propre” n’est pas simplement un objectif : c’est l’essentiel même. Si des résidus, même minimes, restent après le séchage ou la cuisson, cela pose problème. Pendant longtemps, on a utilisé des fours à convection. Mais le problème, c’est que ces appareils dispersent de l’air chaud partout. Cet air transporte de la poussière, et il faut donc dépenser beaucoup d’énergie pour maintenir la température adéquate dans la pièce.
C’est pourquoi nous utilisons le rayonnement infrarouge. Au lieu de chauffer l’air, ce système utilise des radiations électromagnétiques pour chauffer directement le substrat. On ne chauffe donc pas toute la pièce, mais uniquement la partie concernée. C’est simple, non ?
Gestion des matériaux sans plomb
Passer à des colles et des matériaux sans plomb n’a pas été chose aisée. Ces matériaux nécessitent des températures plus élevées et des conditions thermiques très précises. Les chauffages infrarouges sont ideaux pour cela : ils atteignent rapidement les températures souhaitées. Ainsi, on évite de transformer tout l’espace de travail en sauna. De plus, étant donné que c’est un processus sans contact, on n’a pas à s’inquiéter de la contamination mécanique ou des particules présentes dans l’air. Ce système s’intègre parfaitement dans un environnement propre certifié ISO, sans causer de problèmes.
Énergie, chaleur et risque de dommages
L’un des avantages majeurs est qu’il n’y a plus besoin d’attendre que le four se réchauffe. Une lampe infrarouge atteint sa puissance maximale en quelques secondes. On évite ainsi de gaspiller de l’énergie inutilement, et cette énergie est dirigée directement vers le photorésist ou la colle.
Mais ce n’est pas tout. Il y a un risque : si la vitesse de transport du substrat n’est pas correcte, ou si le temps de séchage n’est pas ajusté correctement, le substrat peut surchauffer. Il est donc nécessaire d’utiliser des contrôleurs PID fiables et des pyromètres. Si les capteurs ne fonctionnent pas correctement, les wafer peuvent être endommagés. Et personne ne veut jeter une série de composants à cause d’un capteur lent.
Un approche écologique et simple
Du point de vue environnemental, le rayonnement infrarouge est un atout. Il n’y a pas de produits de combustion, ni besoin d’agents chimiques pour transférer la chaleur. Cela réduit les coûts d’électricité et élimine les agents de séchage contenant des VOC. Pour les ingénieurs qui planifient une nouvelle ligne de production, c’est un vrai soulagement. Cela signifie moins d’espace nécessaire, et une charge moindre pour le système de climatisation. Moins de équipements, moins de chaleur, moins de stress.