בחדר הליתוגרפיה, כל תנועה קטנה של הבמה שעליה נמצא השבב גורמת לשגיאות במדידת ה-CD. יתרה מכך, רמת האחידות של החומר הפוטורזיסטיבי תלויה ביציבות התרמית באזור המדידה. מה שצריך זה מחמם שלא רק מספק חום, אלא גם שולט בו בצורה מדויקת.
מה חשוב מבחינה טכנית בנינו את המחמם של ה-SEM על בסיס חומרים שאינם פולטים גזים, ועם מערכת נורות הלוגן/קוורץ שמגיבה במהירות, בדיוק במקום הנדרש. באזור המדידה, רמת האחידות של השבב נשמרת בטווח של ±0.1°C, ורמת החזרה של הערכים נשמרת בטווח של ±0.05°C.
המערכת פועלת ללא שום בעיות, ועומדת בתקני חדרים נקיים מסוג 1–100, מבלי לפגוע באינטגריטי של החדר. אספקת האנרגיה מווסתת כך שהטמפרטורות יישארו בטווח הנדרש – כך ששליטה ברוחב הקווים וברמת האחידות נשמרות.
אמינות של 24 שעות נובעת משליטה טובה בטמפרטורה ומאינטרפייסים חשמליים איכותיים – כך שאין זמן עצירה בלתי מתוכנן.
למה זה חשוב בפועל במדידות SEM, כל שינוי טמפרטורה גורם לשגיאות במדידה – ולכן לבזבוז של שבבים. עם המחמם הזה, הטמפרטורה נשארת יציבה, כך שנתוני האחידות של ה-CD נשארים יציבים.
כתוצאה מכך, יש פחות צורך במדידות חוזרות, פחות צורך בעבודה חוזרת, ולוח הזמנים של הייצור נשאר ללא שינויים. גם צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהחום מופעל רק במקומות הנדרשים, והזמן הדרוש להתחממות קצר יותר.
מה צריך לתכנן ההתקנה חייבת להיות מדויקת – יש צורך במרווחים מכניים נכונים ובבידוד תרמי טוב, אחרת ייווצרו מסלולי חום לא רצויים. התאמה למערכת תלויה בגאומטריה של החדר ובאינטרפייס של החיישנים, לכן אנו בודקים את ההתאמה ומווסתים את מעגל הבקרה במקום.
יש לתכנן תקופת בדיקה קצרה כדי לקבוע את הערכים הנכונים ל-PID עבור ה-SEM הספציפי שלכם ועבור ערימת השבבים.