בחדר העיבוד, מנורת החימום אינה רק מקור חום – היא גם קובעת את רמת החום הנדרשת. אם הטמפרטורה לא תהיה מדויקת, אפילו במידה של מעט מעלות, פרופיל החום של החומרים המשמשים בתהליך ישתנה. זה יפגע באיכות התוצר הסופי. מה שנדרש הוא חום שהוא יציב, אמין ומהיר.
מה בנינו מבחינה טכנית
אנו משתמשים באלמנטים הלוגניים בטווח האינפרא-אדום הקרוב, הממוקמים בתוך מעטפת קוורץ. הספקטרום של האור מותאם לחימום שטחי, כך שניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות, תוך הפחתת הסיכוי לעודף חום. ברמת הוופר, האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C. זמן התגובה של המנורה הוא פחות משנייה, מה שמאפשר שליטה טובה בטמפרטורה במהלך התהליך. העיצוב של המנורה מונע יצירת חלקיקים במהלך הפעולה, והיא יכולה לפעול בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, ללא פליטת גזים. צפיפות האנרגיה של המנורה מותאמת לדרישות התנור, והפלט שלה נשאר יציב למשך יותר מ-5,000 שעות, עם ירידה של פחות מ-5%.
למה זה מתאים לעבודה שאתם עושים
בתהליך הדיפוזיה, העקביות היא חשובה מאוד – בין אם מדובר בתהליך הדופינג, ביצירת השכבות השונות או בכל שלב אחר בתהליך. בעיבוד הפוטורזיסט, יש צורך בדיוק בטמפרטורה, כדי שהמידות של החומרים יהיו תואמות את הסטנדרטים. המנורה הזו מספקת את שני הדברים האלו.
האחידות הגבוהה של הטמפרטורה מפחיתה את הלחץ התרמי, מפחיתה את הסיכוי לפגמים ומקצרת את זמן העיבוד. פעולה נקייה של המנורה מפחיתה את מספר החלקיקים, מה שחשוב מאוד לאיכות הוופר. תגובה מהירה של המנורה וירידה מינימלית בצריכת האנרגיה מאפשרים שליטה טובה באנרגיה המשמשת בתהליך. חיי השירות הארוכים של המנורה מאפשרים פחות תחזוקות. התוצאה: שליטה טובה, פחות חומרים פגומים ותפוקה יציבה.
הפרטים החשובים שצריך להביא בחשבון
ההתקנה דורשת אליינמנטציה אופטית מדויקת, כדי שהמנורה תפעל בצורה יעילה. המנורה פועלת בצפיפות אנרגיה גבוהה, לכן יש צורך בצינון מתאים ובאספקת אנרגיה איכותית. יש להתאים את המנורה לפרמטרי ה- PID של בקר התנור, כדי למנוע עודף חום. לאחר ההחלפה, יש צורך בתקופת התחממות קצרה לפני שהמנורה תהיה יציבה לחלוטין. יש לתכנן החלפה של המנורה לפי שעות, ולא רק בעת תקלות – כך ניתן לשמור על התהליך בתוך הסטנדרטים הנדרשים.