फैब्रिकेशन लेवल पर, फोटोरेजिस्ट से संबंधित थर्मल बजट को लेकर कोई समझौता नहीं किया जा सकता। अगर तापमान में सिर्फ एक डिग्री का ही अंतर आ जाए, तो इससे क्रिटिकल डायमेंशन कंट्रोल प्रभावित हो जाता है, और उत्पादन में भी कमी आ जाती है। R7s इन्फ्रारेड हीटिंग बल्ब, ऐसी स्थितियों को रोकने हेतु ही बनाया गया है।
क्या महत्वपूर्ण है?
R7s, शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड किरणों का उपयोग करके तापमान को तुरंत नियंत्रित करता है। इससे वेफर की सतह पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं हर बार एक ही स्तर पर ही रहता है। यह क्लास 1–100 वाले वातावरण में भी बिना किसी दोष के काम करता है; इससे कोई संदूषण लिथोग्राफी/एच्छित प्रक्रियाओं में नहीं पहुँच पाता। क्वार्ट्ज आवरण एवं मानकीकृत R7s बेस के कारण, इसे मौजूदा उपकरणों में आसानी से एकीकृत किया जा सकता है… एवं 24/7 चलने पर भी थर्मल प्रोफाइल स्थिर ही रहता है।
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में इसका लाभ क्या है?
“सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में, R7s तापमान को ठीक उसी स्तर पर रखता है… जिससे CD यूनिफॉर्मिटी बनी रहती है, एवं साइडवॉल प्रोफाइल भी सही रहता है। बेहतर थर्मल नियंत्रण से ऊर्जा की खपत कम होती है, एवं अपशिष्ट भी कम हो जाता है। लैंप के कारण होने वाली त्रुटियाँ भी कम हो जाती हैं… एवं रखरखाव के बीच का समय भी बढ़ जाता है। उन प्रक्रियाओं में, जहाँ पूर्वानुमेय थर्मल इतिहास आवश्यक है, R7s थर्मल बजट को बनाए रखता है… बिना किसी अतिरिक्त या विलंब के।
व्यावहारिक विवरण:
इसे इंस्टॉल करने हेतु, सॉकेट का सही संरेखण एवं स्वच्छ विद्युत संपर्क आवश्यक हैं… अन्यथा स्थानीय रूप से तापमान बढ़ जाता है। इसे इंस्टॉल करने से पहले, उपकरण के वोल्टेज एवं फिक्स्चर की सहनशीलता की जाँच करें… एवं यह भी सुनिश्चित करें कि थर्मल कंट्रोलर, तेज गति से होने वाले परिवर्तनों को संभाल सके। यूनिफॉर्मिटी बनाए रखने हेतु, उपकरण के उपयोग के घंटों के आधार पर ही इसकी जगह बदलें… न कि खराबी होने का इंतजार करके।