फोटोरेजिस्ट की स्थिरता, लाइन-प्रोसेसिंग में बहुत ही महत्वपूर्ण है। सफाई के बाद भी यदि थोड़ी भी नमी बच जाए, तो उत्पाद में दोष पैदा हो जाते हैं। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में तापमान नियंत्रण भी बहुत ही महत्वपूर्ण है। पारंपरिक विधियों से सूखने की प्रक्रिया में तापमान में उतार-चढ़ाव होता है, जिससे कणों की संख्या एवं लाइनों की चौड़ाई को नियंत्रित करना मुश्किल हो जाता है।
हमारा सौर सेल वेफर सूखाने वाला लैंप, शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करके वेफर पर ±0.1°C की सटीक तापमान नियंत्रण सुनिश्चित करता है। ऐसी सटीकता के कारण फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण प्रक्रिया बार-बार दोहराई जा सकती है, बिना किसी त्रुटि के। यह लैंप क्लीनरूम क्लास 1–100 में भी काम कर सकता है; 5,000+ घंटों तक काम करने के बाद भी इसकी तापमान सटीकता 5% से कम ही रहती है। इसमें इंटिग्रेटेड क्वार्ट्ज शील्डिंग एवं सील्ड थर्मल पाथ होने के कारण संदूषण नहीं होता, एवं तापमान स्थिर रहता है।
लिथोग्राफी एवं एचिंग प्रक्रियाओं में यह बहुत ही महत्वपूर्ण है। यदि तापमान नियंत्रण ठीक न हो, तो वेफर सूखाने की प्रक्रिया ही मुश्किल हो जाती है। इस लैंप के उपयोग से सूखने का समय कम हो जाता है, एवं तापमान नियंत्रण भी बना रहता है। ऐसे में उत्पादन दर बढ़ जाती है, एवं अतिरिक्त खर्च भी कम हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि लैंप केवल लक्षित क्षेत्र को ही गर्म करता है, एवं सूखने की प्रक्रिया पूरी होने के बाद ही बंद हो जाता है।
कुछ व्यावहारिक जानकारियाँ:
इस लैंप के लिए 24 VDC वोल्टेज आवश्यक है, एवं इसे स्पिन-ड्राई स्टेशन के बगल में ही रखना होता है, ताकि इसका संरेखण ठीक रहे। यह सामान्य 150 मिमी एवं 200 मिमी आकार के वेफरों के साथ काम करता है; 300 मिमी आकार के वेफरों के लिए थोड़ा सा समायोजन ही आवश्यक है। अपनी प्रक्रिया के लिए एक छोटा सा थर्मल क्वालिफिकेशन टेस्ट करें, ताकि आप अपनी प्रक्रिया को ठीक से समझ सकें।