Hentikan pemborosan energi dalam proses pengolahan wafer
Sejujurnya, sebagian besar sistem pemanasan wafer ternyata sangat membuang-buang energi. Jika Anda menggunakan lampu kuarsa standar, panas yang dihasilkan akan tersebar ke segala arah—360 derajat. Artinya, setengah dari energi listrik yang digunakan hanya digunakan untuk memanaskan badan mesin, bukan untuk memanaskan permukaan silikon itu sendiri. Ini merupakan pemborosan energi, dan juga menyulitkan sistem pendinginan.
Kami mengatasi masalah ini dengan menggunakan lapisan reflektif berbahan emas, sehingga panas dapat dialirkan tepat ke tempat yang dibutuhkan.
Mengapa emas?
Hal ini berkaitan dengan kemampuan emas dalam memantulkan gelombang inframerah. Emas sangat efektif dalam memantulkan gelombang tersebut kembali. Dengan menambahkan lapisan emas pada reflektor, kita dapat mencegah gelombang inframerah berserakan dan mengarahkannya kembali ke permukaan wafer.
Tujuannya bukan sekadar “membuat suhu lebih tinggi”, tetapi untuk mendapatkan kontrol yang lebih baik. Dengan demikian, kita dapat mendapatkan pancaran panas yang lebih intensif tanpa perlu meningkatkan daya yang digunakan.
Menghemat biaya listrik
Saat merancang sistem, kita ingin mencapai suhu target secepat mungkin. Reflektor berlapis emas dapat mengurangi “kebocoran” panas yang biasanya terjadi di ruang vakum. Artinya, kita membutuhkan lebih sedikit energi untuk memanaskan setiap wafer. Jika Anda menggunakan ratusan lampu dalam proses produksi, penghematan kecil ini akan memberikan penurunan signifikan pada biaya listrik bulanan Anda.
Peringatan penting
Ada trade-off yang perlu diperhatikan. Karena panasnya sangat intens, segala sesuatu akan bergerak dengan cepat. Anda perlu memperhatikan pengaturan PID dengan seksama. Jika kontrolnya lambat, suhu target bisa melebihi batas yang ditentukan, sehingga substrat bisa rusak sebelum sistem sempat bereaksi.
Berita baiknya adalah, reflektor ini merupakan pengganti yang cocok untuk komponen aluminium atau baja yang digunakan saat ini. Anda tidak perlu merancang ulang peralatan Anda. Peralatan Anda akan tetap dingin, kipas tidak perlu bekerja keras, dan efisiensi termal pun tetap terjaga. Pastikan sensor Anda siap untuk menangani intensitas panas yang lebih tinggi.