Di area litografi, sedikit saja perubahan suhu pada stage SEM dapat menyebabkan kesalahan dalam pengukuran CD. Profil pemanasan fotoresist juga hanya akan akurat sejauh stabilitas termalnya memadai. Yang diperlukan adalah pemanas yang tidak hanya mampu menghasilkan panas, tetapi juga mampu mengontrol panas tersebut dengan tepat.
Yang penting secara teknis: Kami merancang pemanas SEM menggunakan bahan-bahan yang memiliki emisi panas yang rendah, serta sistem lampu halogen/kwarsa yang responsif, sehingga panas dapat dikendalikan dengan baik di tempat yang dibutuhkan. Di zona pengukuran, tingkat kehomogenan suhu pada wafer tetap stabil pada kisaran ±0,1°C, sedangkan tingkat reproduktibilitasnya tetap dalam kisaran ±0,05°C.
Sistem ini beroperasi tanpa adanya partikel-partikel tak diinginkan, sehingga memenuhi standar ruang bersih kelas 1–100, tanpa mengorbankan integritas ruangan tersebut. Pasokan daya dikendalikan agar profil pemanasan tetap stabil; sehingga suhu pemanasan tetap berada dalam rentang yang ditentukan. Dengan demikian, kontrol lebar garis dan tingkat reproduktibilitas profil pemanasan tetap stabil.
Keandalan sistem selama 24 jam dicapai melalui siklus termal yang terkendali serta antarmuka listrik yang stabil, sehingga waktu henti yang tidak terduga menjadi nol.
Mengapa hal ini penting: Dalam pengukuran SEM, fluktuasi suhu dapat langsung menyebabkan kesalahan pengukuran. Dengan pemanas ini, suhu stage tetap stabil, sehingga data kehomogenan CD tetap stabil dari satu batch ke batch lainnya. Hal ini berarti jumlah pengukuran ulang berkurang, sehingga waktu produksi tetap terjaga. Penggunaan energi pun lebih efisien, karena panas hanya diberikan di tempat yang diperlukan, dan proses penyesuaian suhu berlangsung lebih cepat.
Apa yang perlu dipertimbangkan: Proses instalasi harus dilakukan dengan presisi—dengan jarak mekanis yang tepat dan isolasi termal yang baik, agar tidak tercipta jalur panas yang tidak diinginkan. Kompatibilitas sistem bergantung pada geometri ruangan dan antarmuka sensor stage. Oleh karena itu, kami melakukan verifikasi terlebih dahulu sebelum menyetel parameter kontrolnya.
Rencanakanlah waktu uji coba yang singkat untuk menentukan konstanta PID yang sesuai untuk konfigurasi SEM dan tumpukan wafer Anda.