Introduzione
Avete mai avuto l’impressione di essere bloccati in attesa che il tempo passi? Quando il processo di lavorazione richiede tempi lunghi, l’aria calda rallenta tutto il processo. Per questo abbiamo creato un dispositivo in grado di superare questo ostacolo: il termoventilatore ad alta efficienza energetica.
Si tratta di uno strumento progettato per massimizzare la velocità di riscaldamento. Utilizziamo tecnologia a onde infrarosse a breve lunghezza d’onda per fornire calore esattamente dove è necessario, sulla superficie del wafer, senza trasformare l’intera camera in un forno.
Come funziona
Il cuore di questo dispositivo è la sua precisione e capacità di controllo. Funziona a 400V, il che permette di ottenere una grande quantità di energia in uno spazio ridotto, senza sobrecaricare il sistema elettrico. In questo modo si ottiene un rapido raggiungimento della temperatura desiderata, con un mantenimento costante della stessa.
La lunghezza di riscaldamento è di 300 mm: questa dimensione è ideale, poiché permette di integrarlo facilmente nei dispositivi standard, senza interferire con il processo di lavorazione. La potenza del dispositivo è regolata in modo da fornire esattamente la giusta quantità di energia termica, garantendo risultati costanti. Si ottengono quindi prestazioni simili a quelle dei dispositivi di tipo RTP, ma senza i problemi legati a sistemi idraulici complessi.
Struttura del dispositivo
Il nucleo del dispositivo è avvolto in un guscio di quarzo, riempito di halogeno ad alta purezza. Questa combinazione permette di mantenere una temperatura costante. Il halogeno assicura inoltre una buona emissione di calore a onde infrarosse, che vengono assorbite facilmente dal silicio e dalle pellicole sottili. All’interno, il ciclo di funzionamento del halogeno previene il degrado dei filamenti, garantendo così stabilità anche dopo numerosi cicli di riscaldamento e raffreddamento.
Sostituire la lampada è semplice, grazie al connettore R7s. Non è necessario utilizzare strumenti particolari per sostituirla, quindi i tempi di fermo sono minimi. Inoltre, lo strato esterno del dispositivo è resistente ai shock termici e alla contaminazione, garantendo così una stabile emissione di calore e facilitando la manutenzione.
Cosa significa per voi
Nel processo di lavorazione avanzata, il tempo è fondamentale. Le tecnologie a onde infrarosse rappresentano quindi la soluzione migliore per risparmiare tempo. Poiché il dispositivo riscalda direttamente il wafer, non l’aria circostante, non c’è bisogno di aspettare che tutta la camera raggiunga la temperatura desiderata. Le transizioni di temperatura avvengono rapidamente, e l’uniformità del riscaldamento è garantita. Inoltre, si consuma meno energia per ogni lotto di produzione.
Questa è proprio la soluzione perfetta quando si ha bisogno di aumentare la produttività senza occupare più spazio. Attenzione però: data l’alta intensità del calore generato, è necessario che i sistemi di raffreddamento siano adeguati. Altrimenti, potrebbero verificarsi zone troppo calde. Se invece il dispositivo viene abbinato correttamente al sistema di raffreddamento, il funzionamento sarà più fluido e ci saranno meno difetti nei prodotti finiti.