소개
시간만 기다리는 데 지치신 적 있나요? 웨이퍼가 복잡한 가공 과정을 거칠 때, 뜨거운 공기가 오히려 작업 속도를 늦춥니다. 그래서 우리는 이러한 병목 현상을 해결하기 위해 에너지 효율이 높은 웨이퍼 히터를 만들었습니다.
핵심은 바로 속도입니다. 단파 적외선 할로겐 기술을 활용하여 필요한 곳, 즉 웨이퍼 표면에 열을 직접 전달합니다. 그렇기 때문에 전체 챔버가 오븐처럼 되는 것을 막을 수 있습니다.
작동 원리
이 히터의 핵심은 높은 밀도와 정밀도, 그리고 안정적인 제어 능력에 있습니다. 400V의 전압을 사용하여 작동하므로, 작은 크기로도 충분한 에너지를 공급할 수 있습니다. 따라서 사용 지점에서 신속하게 온도가 상승하고 안정적으로 유지됩니다.
300mm의 가열 길이는 최적의 값입니다. 표준 도구들과 호환되므로, 공정을 방해하지 않고 쉽게 설치할 수 있습니다. 또한, 적절한 와트수가 조절되어 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. RTP와 같은 성능을 얻으면서도 복잡한 배관 시스템의 문제는 없습니다.
내부 구조
핵심 부분은 석영으로 둘러싸여 있으며, 그 안에는 고순도의 할로겐이 들어 있습니다. 이 조합 덕분에 열을 효과적으로 전달하고 안정적으로 유지할 수 있습니다. 단파 적외선이 계속 방출되어 실리콘과 박막층이 이를 잘 흡수할 수 있습니다.
할로겐 회로는 히터가 반복적인 가열/냉각 주기를 겪어도 안정적으로 작동하도록 합니다. R7s 이중 핀 커넥터 덕분에 램프 교체가 매우 간편합니다. 그래서 다운타임도 짧습니다. 외부 코팅도 튼튼해서 열 충격에 대비할 수 있으며, 오염을 방지하여 방사율을 일정하게 유지할 수 있습니다.
당신에게 주는 이점
복잡한 가공 과정에서 시간은 곧 비용입니다. 적외선 히터는 시간을 절약해줍니다. 웨이퍼 자체를 직접 가열하기 때문에, 챔버 전체가 따뜻해질 때까지 기다릴 필요가 없습니다. 온도 변화도 빠르고, 균일성도 유지됩니다. 그리고 한 번에 처리하는 웨이퍼의 양도 줄어듭니다.
이러한 업그레이드는 더 많은 생산량을 원하지만 공간을 더 차지하고 싶지 않을 때 적합합니다.
다만, 엄청난 열 밀도 때문에 냉각 및 보호 시스템도 충분해야 합니다. 그렇지 않으면 과열 현상이 발생할 수 있습니다. 하지만 램프를 적절한 열 관리 시스템과 연동시킨다면, 더 원활하게 작동하며 불량품도 줄어듭니다.