유리 조각으로 인한 피해를 막아보세요: IR 램프 고장으로부터 웨이퍼를 보호하는 방법
고부하 상황에서 IR 램프가 파손된 경험이 있다면, 그게 얼마나 끔찍한 일인지 잘 알 것입니다. 단순히 램프를 교체하는 것만으로는 충분하지 않습니다. 유리 조각들과 할로겐 가스도 문제가 됩니다. 결국 전체 웨이퍼가 쓸모없어지는 것이죠.
정말 엉망진창이 되고, 비용도 많이 듭니다.
우리는 바로 이러한 문제를 해결하기 위해 특별히 클린룸용 히터를 설계했습니다.
혼란을 최소화하기
우리는 석영관에 모든 부담을 맡기는 것을 신뢰하지 않습니다. 그건 위험한 일입니다. 대신, 모든 부품을 강화된 케이싱으로 감싸줍니다. 마치 안전망과 같은 역할을 하는 것이죠. 만약 내부 램프가 열 스트레스로 인해 파손되거나 손상된다 해도, 케이싱이 그 파편들을 받아줍니다. 그래서 실리콘 위로 유리 조각들이 떨어지는 일은 없습니다. 우리는 이 케이싱에 고순도의 융합 석영을 사용하기 때문에, 가스가 발생하거나 금속 입자가 클린룸에 들어오는 것을 걱정할 필요가 없습니다.
열과 전력 문제 해결
대부분의 IR 램프는 전압 급증으로 인해 고장납니다. 그게 전부입니다.
이 문제를 해결하기 위해, 우리는 히터 내부에 전류 제한 장치를 탑재했습니다. 이를 통해 전력이 급증할 때 필라멘트가 과열되는 것을 방지할 수 있습니다. 또한, 와트수와 길이의 비율도 엄격하게 조절합니다. 왜냐하면 ‘열점’이 램프를 파괴하기 때문입니다. 열을 고르게 분배함으로써 램프의 수명을 연장할 수 있습니다.
한 가지 팁: 전원 공급 장치에 필터를 장착하세요. 전원이 불안정하다면, 아무리 품질이 좋은 램프라도 고장날 수 있습니다.
사용하기 편리하도록 만들기
아무도 램프를 교체하기 위해 히터 전체를 분해하고 싶어 하지 않습니다. 그래서 우리는 모듈식 ‘드롭인’ 디자인을 채택했습니다. 램프를 교체한 후에도 별다른 문제 없이 다시 작업을 시작할 수 있습니다.
또한, 금 도금된 커넥터를 사용합니다.听起来는 고급스러워 보이지만, 실용적입니다. 접촉점에서의 산화를 막아주므로, 전기 저항이 줄어들고 단자 부분에서 열이 적게 발생합니다.
마지막으로, 더 빠른 작동을 위해 와트수를 최대로 설정할 경우, 냉각팬을 잘 관리해야 합니다. 공기 흐름이 부족하면 열이 너무 많이 발생하여 히터의 구조가 손상될 수 있습니다. 공기가 잘 흐르도록 하면 문제없습니다.