SEM(주사전자현미경) 히터

리소그래피 공정에서는, 아주 약간의 움직임만 있어도 SEM 스테이지의 위치가 변하게 되고, 이는 CD 측정 결과에 오차를 초래합니다. 또한, 포토레지스트를 건조시키는 과정에서의 일관성도, 빔이 작용하는 환경 하에서의 열 안정성에 달려 있습니다. 따라서 중요한 것은 단...