Dalam bilik litografi, sebarang perubahan kecil pada suhu stesen SEM pun boleh menyebabkan ralat dalam pengukuran CD. Selain itu, profil pemanasan bahan fotosensitif juga bergantung pada stabiliti termal di bawah sinar yang digunakan. Apa yang diperlukan ialah pemanas yang mampu mengawal suhu dengan tepat, bukannya sekadar menambah haba secara rawak.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Kami menggunakan bahan-bahan yang menghasilkan pengeluaran gas yang minimum, serta lampu halogen/kwarsa yang dapat bertindak balas dengan cepat, tepat di tempat yang diperlukan. Di kawasan pengukuran, keseragaman suhu wafer adalah sekitar ±0.1°C, manakala ketepatan penentuan suhu pula berada dalam lingkungan ±0.05°C. Sistem ini beroperasi tanpa sebarang gangguan berkaitan zarah-zarah halus, sehingga memenuhi standard bilik bersih kelas 1–100 tanpa mengganggu integriti bilik tersebut. Penghantaran tenaga dikawal dengan baik agar suhu pemanasan tetap stabil, sekaligus memastikan kawalan ketebalan garisan dan ketepatan profil pemanasan tidak terjejas.
Kebolehpercayaan sistem ini adalah 24 jam, kerana adanya kawalan suhu yang efektif dan antaramuka elektrik yang kukuh. Dengan ini, masa henti yang tidak dirancang dapat dikurangkan sepenuhnya.
Mengapa ini penting dalam operasi harian
Dalam pengukuran SEM, perubahan suhu boleh menyebabkan ralat pengukuran, yang seterusnya akan menyebabkan pembaziran bahan. Dengan pemanas ini, suhu stesen SEM tetap stabil, sehingga data keseragaman CD tetap stabil dari satu kumpulan bahan ke kumpulan bahan yang lain. Ini memudahkan proses pengukuran, mengurangkan keperluan untuk ujian semula, dan memastikan jadual pengeluaran tetap terpelihara. Penggunaan tenaga juga lebih efisien, kerana haba hanya diberikan di tempat yang diperlukan, dan masa persiapan antara setiap wafer juga dapat dikurangkan.
Apa yang perlu dirancang
Pemasangan perlu dilakukan dengan teliti—ruang mekanikal yang cukup dan pengasingan haba yang baik diperlukan, agar tidak timbul laluan haba yang tidak diingini. Keserasian sistem bergantung pada geometri bilik dan antaramuka sensor stesen, jadi kami perlu memastikan kesesuaian sistem tersebut dan menyesuaikan kawalan suhu di tempatnya. Rancanglah ujian pendek untuk menetapkan nilai-nilai PID yang sesuai untuk konfigurasi SEM dan susunan wafer tertentu.