Di fasiliti pengeluaran, perubahan suhu semasa proses pengeringan wafer atau pembakaran bahan photoresist tidak menyebabkan kegagalan yang serius. Sebaliknya, ia menyebabkan penurunan kualiti hasil pengeluaran, penyebaran variasi ketebalan lapisan pada wafer, serta masalah yang memerlukan pembaikan berulang-ulang. Dengan had suhu yang ketat, tiada ruang untuk kawasan yang terlalu panas atau sejuk, mahupun perubahan nilai tetapan suhu antara sesi pengeluaran yang berbeza.
Apa yang penting di sebaliknya
Kami menggunakan pemanas inframerah berbentuk tiub ganda yang menggunakan pemancar kuarsa gelombang pendek. Pemancar ini dapat menghantar tenaga dengan cepat dan efektif, dan tindak balasnya sangat pantas. Reka bentuk tiub ganda ini membolehkan penumpuan tenaga tanpa menggunakan ruang yang banyak, jadi ia boleh digunakan dalam modul pengeringan, pelapisan, dan proses penyembuhan bahan. Di kawasan aktif tersebut, suhu kekal stabil pada tahap ±0.1°C. Sistem kawalan juga diset agar profil suhu kekal konsisten dari satu sesi pengeluaran ke sesi yang lain. Keserasian dengan persekitaran makmal yang bersih juga merupakan ciri penting. Bahan-bahan yang digunakan membantu mengurangkan pembentukan zarah-zarah kecil, yang sangat diperlukan dalam persekitaran kelas 1–100.
Mengapa ia berguna dalam dunia pengeluaran kita
Proses pengeringan dan pembersihan wafer berlaku lebih cepat kerana cahaya inframerah mempengaruhi wafer secara langsung, bukannya menghangatkan udara di sekelilingnya. Dalam proses pemprosesan photoresist, lampu ini dapat mengekalkan suhu yang stabil, sehingga meningkatkan kualiti permukaan wafer dan mengurangkan kecacatan yang disebabkan oleh ketidakkonsistenan suhu. Untuk proses pembungkusan pula, lampu ini membantu memastikan proses penyembuhan bahan berjalan secara seragam, sehingga sifat-sifat bahan tersebut dapat dikawal dengan baik. Anda juga dapat menjimatkan tenaga kerana lampu hanya menghangatkan bahagian yang dituju sahaja. Kebolehpercayaan lampu ini juga terbukti tinggi; ia boleh beroperasi selama 5,000 jam atau lebih dengan penurunan prestasi kurang dari 5%.
Hal-hal yang perlu dipertimbangkan
Cahaya inframerah hanya dapat bergerak dalam garis pandang yang jelas. Alat-alat logam boleh memantulkan haba, dan bayangan yang dihasilkan juga boleh menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas atau sejuk. Oleh itu, kedudukan lampu perlu dipertimbangkan dengan teliti dari segi optik dan geometri. Kami menyediakan panduan yang jelas untuk pemasangan lampu, dan disarankan agar lampu diselaraskan sekali sahaja semasa pemasangan. Selepas itu, lampu akan berfungsi seperti yang diharapkan, dan anda hanya perlu menukar lampu mengikut jadual yang ditetapkan.