In de litografiehal kan zelfs een klein verschil in temperatuur op het SEM-platform leiden tot fouten bij de CD-metingen. Bovendien is de nauwkeurigheid van de fotoresistentbehandeling afhankelijk van de thermische stabiliteit onder het straallicht. Wat nodig is, is een verwarmer die niet alleen warmte levert, maar deze ook nauwkeurig kan reguleren.
Wat technisch gezien belangrijk is
Wij hebben de SEM-verwarmer ontworpen met behulp van materialen die weinig gasen afgeven, en met een halogeen/kwartslamp die snel reageert, precies waar het nodig is. In het metinggebied blijft de uniformiteit van de wafer op ±0,1°C, terwijl de herhaalbaarheid van de instellingen zich binnen ±0,05°C bevindt. Het systeem werkt zonder enige storingsvormen, zodat het voldoet aan de eisen van een schone ruimteklasse 1–100, zonder dat de integriteit van de ruimte wordt aangetast. De stroomtoevoer is zo afgesteld dat er stabiele temperaturen worden behaald; hierdoor blijven de controleparameters constant.
De betrouwbaarheid over 24 uur komt doordat er gecontroleerde thermische cycli worden gebruikt en dat de elektrische verbindingen solide zijn. Hierdoor blijft de ongeplande stilstand op nul.
Waarom dit belangrijk is in de praktijk
Bij SEM-metingen leidt thermische instabiliteit direct tot fouten in de metingen. Met deze verwarmer blijft de temperatuur op het platform stabiel, zodat de gegevens over de uniformiteit van de wafer statistisch stabiel blijven. Hierdoor zijn er minder hermetingen nodig, minder herwerkzaamheden, en blijft de productieplanning intact. Ook wordt minder energie verbruikt, omdat de warmte alleen wordt toegepast waar het nodig is. Bovendien wordt de tijd die nodig is om het platform voor te bereiden op de volgende wafer verminderd.
Wat u moet plannen
De installatie moet nauwkeurig worden uitgevoerd: er moet voldoende ruimte zijn tussen de componenten en moet er goede thermische isolatie zijn. Anders kunnen er extra warmtestromen ontstaan. De compatibiliteit hangt af van de geometrie van de ruimte en de sensoren op het platform. Daarom testen we eerst of alles goed werkt en passen we de controleparameters aan op locatie aan. Plan ook een korte testperiode in, zodat de PID-constanten perfect kunnen worden ingesteld voor uw specifieke SEM-configuratie en waferstack.