Op de productielijn is het allemaal nogal complex. Zelfs een kleine afwijking van een halve graad kan ertoe leiden dat de vereiste voorwaarden voor de productie niet meer worden nageleefd. Als de temperatuur aan de randen te hoog is, kunnen zelfs kwalitatief goede producten verloren gaan voordat ze klaar zijn voor gebruik. De verwarming van de wafers moet dus goed worden gecontroleerd – er mag geen sprake zijn van onregelmatigheden in de temperatuur, terwijl de lucht in de schone ruimte zo stil mogelijk moet blijven.
Wat belangrijk is onder de motorkap Wij ontwerpen systemen voor het verwarmen van wafers op basis van de thermische eisen van halfgeleiders, en niet op basis van algemene standaarden. Het systeem zorgt voor een uniformiteit van ±0,1°C over de hele oppervlakte van de wafer, zodat de viscositeit van het fotoreceptor en het verwijderen van oplosmiddelen binnen de vereiste grenzen blijven.Compatibiliteit met de schone ruimte is geen extra vereiste; de materialen en oppervlakken worden zodanig gekozen dat er zo min mogelijk deeltjes worden gegenereerd, zodat het systeem voldoet aan de normen van klasse 1–100, zonder dat er extra filters nodig zijn.
Herhaalbaarheid wordt gerealiseerd door middel van een goed ontworpen controlemechanisme en juiste plaatsing van sensoren. Hierdoor bereik je steeds dezelfde temperatuur op dezelfde plek, batch na batch. Betrouwbaarheid komt tot uiting in de beschikbaarheid van het systeem – componenten en lampen zijn ontworpen om 24/7 te werken, zodat je planningen kunt maken voor onderhoud in plaats van te moeten werken rondom storingen.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie Bij lithografie bepaalt de verwarmingsschets de controle over de dikte van de lijnen op de wafer. Een betere thermische uniformiteit verminderd defecten aan de randen, vermindt het aantal herwerkingsacties en verkort de tijd die nodig is om het proces te valideren. Bovendien leidt betere herhaalbaarheid tot minder tijd die nodig is om de instellingen aan te passen na preventief onderhoud. Er is geen sprake van problemen – alleen maar stabiele productiekwaliteit en efficiëntie.
Enkele praktische tips Het systeem werkt met standaard waferchucks en veelgebruikte interfaces. Echter, de thermische configuratie is gevoelig voor mechanische afwijkingen. Plan dus een alignering en thermische controle na de installatie. Zorg er ook voor dat de afvoer- en koelingslijnen goed passen bij het systeem. Behandel het procesprofiel als onderdeel van het systeem, en niet als iets wat later nog moet worden toegevoegd.