W etapie wysuszania fotorezystu określa się parametry termiczne procesu. Jeśli temperatura w obszarze podgrzewania się zmienia lub szkło zaczyna się wyginać, parametry procesu ulegają zaburzeniu, co negatywnie wpływa na jakość produktu. W fabrykach paneli LCD podłoże jest dużego rozmiaru, wrażliwe na temperaturę, więc nie toleruje błędów w kontrolowaniu procesu. Stworzyliśmy specjalne grzałki podczerwieni, aby utrzymać stabilny i powtarzalny profil termiczny.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Nasze grzałki podczerwieni zapewniają jednolitość temperatury na dużych powierzchniach podłoża, przy dokładności ±0,1°C na całej powierzchni podgrzewania. Zestaw emiterów kwarcowo-halo-genowych zapewnia intensywny przepływ ciepła, który reaguje szybko. Całość jest precyzyjnie kontrolowana, dzięki czemu temperatura pozostaje w ustalonych granicach od początku do końca procesu.
Kompatybilność z warunkami w pomieszczeniach klasy 1–100 Od samego początku projektujemy urządzenia tak, aby były kompatybilne z takimi warunkami. Materiały o niskiej ilości emisji gazów, szczelne połączenia oraz optymalny przepływ powietrza zapewniają brak zanieczyszczeń i utrzymanie stałej liczby cząstek. Brak tworzenia się cząstek podczas cykli termicznych chroni warstwy fotorezystu.
Dlaczego to działa? W litografii proces wysuszania nie jest samodzielnym krokiem – on umożliwia realizację całego procesu. Dobry profil termiczny zmniejsza zmienne wartości CD oraz skraca długość linii. Powtarzalność procesu gwarantuje spójność wyników pomiędzy poszczególnymi partiami produktów. Szybka reakcja termiczna skraca czas cyklu bez konieczności stosowania nadmiernych temperatur. Wysoka efektywność przekształcania energii zmniejsza zużycie energii na jeden panel. Efektem jest mniej konieczności przeróbek, mniej odpadów oraz lepsza wydajność linii produkcyjnej.
Co należy wiedzieć? Grzałki są kompaktowe i modułowe, ale ich integracja nie jest tak prosta jak w przypadku urządzeń typu „plug-and-play”. Trzeba dostosować moc źródła światła do geometrii komory, skalibrować pyrometr pod kątem emisyjności szkła oraz dostosować przepływ powietrza tak, aby osiągnąć wymaganą jednolitość temperatury. Należy zaplanować krótki okres testowy, aby dostosować parametry PID do specyfikacji podłoża i prędkości transportu.