На производственном участке достаточно всего лишь отклонения температуры в 0,1°C во время процесса выпечки фотополимера, чтобы сделать бесполезным целый объем изделий диаметром 300 мм. Для предотвращения таких отклонений были разработаны инфракрасные лампы для нагрева интерпозиторов.
Суть заключается в следующем: лампы используют кварцевые элементы с быстрой реакцией, что позволяет обеспечить быстрое и локализованное нагревание. Равномерность температуры на поверхности интерпозитора составляет ±0,1°C, а точность поддержания температуры остается в пределах допустимых значений. Максимальная длина волны света подбирается таким образом, чтобы энергия попадала именно на фотополимер, не повреждая при этом подлежащие обработке материалы. Лампы работают круглосуточно, не выделяют частиц, а уровень чистоты воздуха соответствует стандартам от класса 1 до класса 100.
В процессе литографии необходимо стабильное и равномерное температурное режиме как на этапе размягчения фотополимера, так и на этапе его зафиксирования перед эчингом. Эта лампа обеспечивает стабильный температурный режим, что снижает изменчивость ширины линий и предотвращает появление нежелательных примесей после процедуры развития.
Результатом является повышение производительности, сокращение количества повторных процедур обработки, а также возможность точного контроля за качеством изделий. Также снижается расход энергии, поскольку лампа нагревает только нужную зону, а не всю поверхность платы.
Несколько практических замечаний: при установке необходимо тщательно настроить оптическое сочетание и использовать устройства, соответствующие стандартам чистой комнаты, чтобы минимизировать количество частиц в воздухе. Интенсивность излучения лампы настраивается под конкретные характеристики интерпозиторов; если меняются характеристики интерпозиторов, возможно потребуется скорая корректировка параметров лампы.
Необходимо заранее спланировать интеграцию лампы с системой литографии и контроллером температуры. Как только все будет настроено правильно, процесс будет проходить стабильно.