Переход от использования теплого воздуха к использованию инфракрасных ламп без озона в процессе полупроводниковой обработки
Если вы до сих пор используете теплый воздух для обработки полупроводников, скорее всего, вы тратите слишком много времени на ожидание.
Переход на использование инфракрасных ламп без озона — это не просто замена одного типа нагревателя на другой. Это также способ избавления от ненужного времени ожидания.
Проблема ожидания
Подумайте о принципе работы теплого воздуха: сначала необходимо нагреть воздух, а затем этот воздух должен нагреть сам материал. Это своего рода посредник. В итоге приходится ждать несколько минут, пока камера достигнет нужной температуры.
Инфракрасные лампы устраняют этот посредник. Энергия передается напрямую от лампы к поверхности детали. Таким образом время подготовки сокращается с минут до секунд. Это похоже на включение светильника.
Проблема озона
Но есть ещё одна проблема. Большинство стандартных инфракрасных ламп излучают свет в диапазоне 185 нм. Проблема в том, что это приводит к образованию озона.
В чистых условиях озон представляет серьезную проблему: он разрушает герметичные уплотнения и окисляет элементы, которые должны сохранять свою целостность. Чтобы избежать этого, используются фильтры и специальные кварцевые корпуса. Таким образом можно получить высокую температуру без образования химических веществ.
Правильная настройка
Нельзя просто подключить эти лампы и забыть о них. Они потребляют много энергии, поэтому необходимо точно контролировать напряжение — иначе лампы быстро выйдут из строя.
Кроме того, следует помнить, что эти лампы становятся очень горячими. Если вы хотите добиться максимальной температуры, не используйте дешевые крепления — они могут деформироваться. Лучше использовать керамические крепления, чтобы лампы могли служить дольше.
Недостатки
Ничто не бывает идеальным. Инфракрасное излучение действительно эффективно, но оно имеет определенное направление. В отличие от теплого воздуха, который нагревает всю поверхность детали, инфракрасное излучение нагревает только те участки, которые видит лампа. Если у деталей необычная форма или есть глубокие углы, возникают «холодные зоны».
Потребуется время на правильную настройку расположения ламп или использование отражателей. Но как только будет обеспечено равномерное нагревание поверхности детали, скорость обработки станет оправданной.