В зоне литографии даже незначительное смещение стола в СЭМ приводит к ошибкам при измерении коэффициента ширины полосы. Кроме того, точность процесса высушивания фоторезиста зависит от тепловой стабильности в зоне воздействия луча. Необходимо использовать нагреватель, который не только генерирует тепло, но и контролирует его выделение.
Что имеет техническое значение Мы спроектировали нагреватель для СЭМ таким образом, чтобы он использовал материалы с минимальным выделением газов, а также лампы на основе галогена/кварца, способные быстро реагировать именно там, где это необходимо. В зоне измерения однородность температуры на поверхности пластины составляет ±0,1°C, а точность установки температуры — ±0,05°C.
Система работает без каких-либо помех, что позволяет соблюдать стандарты чистоты класса 1–100, не нарушая при этом целостности камеры. Питание регулируется так, чтобы температура оставалась стабильной; это позволяет контролировать ширину линий и сохранять точность профиля.
24-часовая надежность достигается благодаря контролируемым тепловым циклам и надежным электрическим соединениям. Это позволяет избежать неплановых простоев.
Почему это важно на практике В процессе метрологии с использованием СЭМ тепловые колебания приводят к ошибкам измерений, что, в свою очередь, приводит к браку продукции. Благодаря этому нагревателю температура стола остается стабильной, что позволяет сохранять статистическую однородность данных о коэффициенте ширины полосы на разных партиях продукции.
Это сокращает количество необходимых повторных измерений и доработок, что позволяет соблюдать график производства. Также снижается расход энергии, поскольку тепло подается только там, где это необходимо, а быстрое нагревание сокращает время подготовки стола между обработкой разных пластин.
Что необходимо учитывать при планировании Установка должна быть выполнена с высокой точностью — необходимо соблюдать правила механической изоляции, иначе могут возникнуть параситные тепловые потоки. Совместимость нагревателя с камерой зависит от ее геометрии и интерфейса датчиков стола. Поэтому мы проверяем совместимость и настраиваем систему управления на месте.
Необходимо запланировать короткий период наладки, чтобы определить параметры управления для конкретной конфигурации СЭМ и типа пластин.