Wafer işleme sürecindeki ısı kaybını durdurun
Dürüst olalım: Çoğu wafer ısıl işlem sistemi oldukça israfçıdır. Eğer standart kuvars lambalar kullanıyorsanız, bu lambalar ısınını her yöne – yani 360 dereceye – yayıyorlar. Bu da pahalı elektriğinizin yarısının sadece makinenin gövdesini ısıtmak için harcandığı anlamına geliyor. Bu hem enerji israfıdır, hem de soğutma sistemleri için sorun yaratır.
Bunu çözmek için altın yansıtıcı kaplamalar kullandık; böylece ısı tam olarak gereken yere yönlendiriliyor.
Neden altın?
Altının kızılötesi dalgaları nasıl ele aldığı önemlidir. Kızılötesi dalgaları geri yansıtmada son derece etkilidir. Yansıtıcıya hassas bir altın tabakası ekleyerek, kızılötesi dalgaların dağılmasını engelliyor ve onları tekrar wafer yüzeyine yönlendiriyoruz.
Buradaki amaç sadece “daha yüksek sıcaklık elde etmek” değil; kontrol sağlamaktır. Böylece, güç seviyesini artırmadan hedeflenen sıcaklığa ulaşılır.
Enerji faturalarında tasarruf
Bir sistem tasarlarken, hedeflenen sıcaklığa mümkün olan en kısa sürede ulaşmak istersiniz. Altın kaplamalı yansıtıcılar, vakum odasını bir fırına dönüştüren “ısı sızıntısını” engeller. Böylece her wafer için daha az enerji gereklidir. Eğer yüzlerce lamba kullanarak yüksek kapasiteli bir üretim yapıyorsanız, bu küçük tasarruflar aylık enerji maliyetlerinizde büyük indirimler sağlar.
Bir uyarı
Bir değiş tokuş söz konusu: Isı çok yoğun olduğu için her şey çok hızlı hareket eder. PID ayarlarınızı yakından izlemeniz gerekecek. Eğer kontrol döngünüz biraz yavaşsa, hedef sıcaklığı aşabilir ve sistem tepki veremeden substrat yanabilir.
İyi haber şu ki, bu yansıtıcıları mevcut parçaların yerine kolayca monte edebilirsiniz. Eski alüminyum veya parlak çelik parçalarınızı değiştirebilirsiniz ve böylece ekipmanınız daha serin kalır, fanlarınızın aşırı çalışmasına gerek kalmaz ve termal etkiniz de kontrol altında kalır. Sadece sensörlerinizin bu artan yoğunluğa hazır olduğundan emin olun.