Litografi bölümünde, en ufak bir hareket bile CD ölçümlerini bozar. Ayrıca, fotorezistin pişirilmesi sırasındaki sonuçlar, ışın altındaki termal stabiliteye bağlıdır. İhtiyacınız olan şey, sadece ısı sağlayan değil, aynı zamanda bu ısıyı kontrol edebilen bir ısıtıcıdır.
Teknik açıdan önemli olanlar
SEM ısıtıcısını, düşük gaz salınımına sahip malzemeler ve hızlı tepki verebilen halojen/kuarz lambalar kullanarak tasarladık. Ölçüm bölgesinde, waferler arasındaki sıcaklık farkı ±0,1°C civarında kalır; ayar noktasının tekrarlanabilirliği ise ±0,05°C aralığında olur. Sistemde herhangi bir parçacık oluşmaz ve böylece oda temizlik seviyesi Class 1–100 standardlarına uygun kalır. Güç sağlaması, stabil pişirme profilleri için optimize edilmiştir; böylece yumuşak ve sert pişirme sıcaklıkları belirlenen aralıkta kalır. Hat genişliği kontrolü ve profil tekrarlanabilirliği de bozulmaz.
24 saatlik güvenilirlik, kontrollü termal döngüler ve sağlam elektrik arayüzleri sayesinde sağlanır; böylece planlanmayan duruşlar ortadan kalkar.
Neden bu önemli?
SEM ölçümlerinde termal değişimler doğrudan ölçüm hatalarına ve atık üretilmesine neden olur. Bu ısıtıcı sayesinde, ışın altındaki sıcaklık sabit kalır; böylece CD’lerin uniformitesi istatistiksel olarak stabil kalır. Daha az ölçüm yapılır, daha az işlem gereklidir ve üretim süreci bozulmaz. Ayrıca, ısı yalnızca gerekli yerlere uygulandığı için enerji tüketimi de düşer. Waferler arasındaki süreçler de hızlanır.
Planlamanız gerekenler
Montajın hassas olması gerekir; mekanik mesafeler ve uygun termal izolasyon sağlanmalıdır. Uyumluluk, odanın geometrisine ve sensör arayüzüne bağlıdır; bu yüzden uyumu test edip kontrol döngüsünü yerinde ayarlıyoruz. Kendi SEM konfigürasyonunuza ve wafer yığınına uygun PID parametrelerini belirlemek için kısa bir test süreci planlayın.