Очистіть пластину, і поверхня буде бездоганною — але вона також нестабільна. Будь-яка залишкова волога — це прямий шлях до дефектів, які проходять через усі етапи літографії та травлення, а потім призводять до зниження виходу продукції. Ми використовуємо лампу для сушіння пластин, яка швидко та контрольовано впливає на вологу. Вода видаляється без пошкодження поверхні, тому пластина готова до нанесення фоторезисту, м’якого та твердого запікання з передбачуваною тепловою поведінкою. Що важливо всередині Лампа працює на короткохвильовому випромінюванні, що забезпечує локальний і швидкий нагрів, тому патрон і навколишнє середовище не отримують додаткового теплового навантаження. По всій поверхні пластини однорідність підтримується на рівні ±0,1°C, що захищає бюджети накладання та критичних розмірів. Вона підходить для чистих приміщень класу від 1 до 100 і не створює часток після виходу на стабільний режим. Система утримує температури запікання фоторезисту в жорстких межах, тож профілі м’якого та твердого запікання залишаються відтворюваними. Потужність лампи стабільна понад 5 000 годин, з дрейфом інтенсивності менше 5%. Чому це важливо на виробництві На виробничій ділянці час і відтворюваність — це те, чим ви розраховуєтесь. Цей етап сушіння звужує цикл від очищення до літографії, а контрольований тепловий профіль зменшує ефект поверхневого струму та варіабельність повторного розплавлення резисту. У результаті після травлення менше містків, нижча щільність дефектів і менше відходів. Споживання енергії також знижується, оскільки лампа нагріває цільову зону, а не всю камеру. Надійність означає менше зупинок, рідше заміну ламп і стабільну кількість часток у встановлених межах. На що слід звернути увагу Встановлення полягає у підборі лампи відповідно до оптичного шляху та діафрагми інструменту. Навіть невелике зміщення може спричинити появу гарячих точок на пластині. Лампа працює ефективніше при контролі вологості в камері; якщо вологість навколишнього середовища зростає, час сушіння збільшується. Також існує період прогріву до досягнення теплової рівноваги — врахуйте це у рецептурі, щоб не звужувати технологічне вікно.