لیتھوگرافی کے عمل میں، اگر SEM سٹیج میں ہلکی سی حرکت بھی ہو جائے، تو اس سے CD کی پیمائش میں خرابی پیدا ہو جاتی ہے۔ فوٹوریزسٹ کی پروفائلنگ کے لئے ضروری ہے کہ تابکاری کے اثرات کے دوران درجہ حرارت میں استحکام برقرار رہے۔ لہذا، ضروری ہے کہ ہیٹر ایسا ہو جو صرف حرارت فراہم کرنے کے ساتھ ساتھ اس کو بھی کنٹرول کر سکے۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟ ہم نے SEM ہیٹر کو ایسے مواد سے بنایا ہے جن سے کم گیسیں خارج ہوتی ہیں، اور اس میں ہیلوجن/کوارٹز لیمپ استعمال کیا گیا ہے جو فوری طور پر ردِعمل دیتا ہے۔ پیمائش کے علاقے میں، ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، جبکہ سیٹپوائنٹ کی بار بار پیمائش کے نتائج ±0.05°C کے اندر رہتے ہیں۔
یہ سسٹم بغیر کسی غیرمطلوبہ حرکت کے کام کرتا ہے، جس سے کلین روم کی کلاس 1-100 کے معیارات پورے ہوتے ہیں، اور چیمبر کی سالمیت برقرار رہتی ہے۔ پاور سپلائی کو ایسے ہی ترتیب دیا گیا ہے کہ درجہ حرارت مستحکم رہے، تاکہ لائن-ویڈتھ کنٹرول اور پروفائلنگ کے نتائج میں کوئی تغیر نہ آئے۔
24 گھنٹے کی قابل اعتماد کارکردگی کے لئے، درجہ حرارت کو کنٹرول کیا جاتا ہے، اور مضبوط الیکٹریکل انٹرفیسز استعمال کئے جاتے ہیں، تاکہ کوئی غیرمتوقع رکاوٹ پیدا نہ ہو۔
فیکٹری میں اس کی اہمیت کیا ہے؟ SEM پیمائش میں، درجہ حرارت میں تغیرات سے پیمائش میں غلطیاں پیدا ہوتی ہیں، جس سے مصنوعات کو ضائع کرنا پڑتا ہے۔ اس ہیٹر کی بدولت، سٹیج کا درجہ حرارت مستحکم رہتا ہے، جس سے CD کی سطح پر درجہ حرارت کے اعداد و شمار مستحکم رہتے ہیں۔
اس طرح، دوبارہ پیمائش کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، ورک کم ہو جاتا ہے، اور پروڈکشن کا شیڈول برقرار رہتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ حرارت صرف ضروری جگہوں پر ہی فراہم کی جاتی ہے، اور تیزی سے درجہ حرارت میں تبدیلی سے ویفرز کے درمیان وقت کی بچت ہوتی ہے۔
کیا منصوبہ بندی کرنے کی ضرورت ہے؟ انسٹالیشن کو بہت درستگی سے کرنا ضروری ہے – میکانی فاصلے اور مناسب حرارتی علیحدگی کو یقینی بنانا ضروری ہے، ورنہ غیرمطلوبہ حرارتی راستے پیدا ہو جائیں گے۔ کمپیٹیبلٹی، چیمبر کی ساخت اور سینسر انٹرفیس پر منحصر ہے، لہذا ہم موقع پر ہی اس کی جانچ کرتے ہیں اور کنٹرول لوپ کو ترتیب دیتے ہیں۔
اپنے خاص SEM کنفیگریشن اور ویفر اسٹیک کے لئے PID کنسٹنٹس کو مقرر کرنے کے لئے، مختصر ٹیسٹنگ کا منصوبہ بنائیں۔