فیکٹری میں، ہاٹ پلیٹ پر آدھے ڈگری کا فرق بھی کوئی مسئلہ نہیں ہے؛ لیکن اس سے بہت نقصان ہوتا ہے۔ “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” عمل سے حساس ابعاد متعین ہوتے ہیں، اور تھرمل بجٹ پر کوئی بحث کی گنجائش نہیں ہے۔ ہم نے اسی حقیقت کو مدِ نظر رکھتے ہوئے ویفر-ٹول کے لئے درجہ حرارت سینسر تیار کیا ہے؛ یہ وہ جگہ کا درجہ حرارت ماپتا ہے جہاں ویفر واقع ہے، نہ کہ وہ جگہ جہاں ہیٹر کے مطابق درجہ حرارت ہونا چاہیے۔
جو چیز اہم ہے…
یہ سینسر سیمی کنڈکٹر کی تیاری کے لئے خصوصی طور پر ڈیزائن کیا گیا ہے؛ پروسیس سطح پر ±0.1°C کی درستگی، اور دروازے کھولنے/بند کرنے کے بعد فوری طور پر ردِعمل دینے کی صلاحیت۔ یہ 24/7 کام کرتا ہے، اور کوئی ذرہ بھی پیدا نہیں کرتا؛ اس طرح یہ کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کے مطابق رہتا ہے۔ تھرمل سائیکلنگ کے دوران بھی اس کی درستگی برقرار رہتی ہے، تاکہ ہر بار بیکنگ کے عمل میں یکسانیت برقرار رہے۔ اس کے انٹرفیسز پروڈکشن کے لئے مناسب ہیں؛ مکانیکی اور الیکٹریکل انضمام بھی قابل اعتماد ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت…
لیتھوگرافی کے عمل میں، یہ سینسر پیداواری عمل کو بہتر بنانے میں مدد کرتا ہے۔ “سافٹ بیک” کنٹرول سے چپچپاپن اور فلم کا دباؤ مستحکم رہتا ہے؛ جبکہ “ہارڈ بیک” سے ایچنگ سے پہلے حساس ابعاد متعین ہو جاتے ہیں۔ اس کے نتیجے میں خرابیاں کم ہوتی ہیں، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور کارکردگی قابل پیشن گوئی رہتی ہے۔ اس کے علاوہ، کنٹرول بینڈ تنگ ہونے کی وجہ سے توانائی کی بچت بھی ہوتی ہے۔ اور چونکہ یہ مسلسل کام کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے، اس لئے ڈرفٹ یا تبدیلیوں کی وجہ سے غیرمتوقع بندش کا خطرہ نہیں ہے۔
انسٹالیشن کی تفصیلات…
تھرمل ماس اور پوزیشننگ کا خیال رکھنا ضروری ہے۔ سینسر وہ جگہ کا درجہ حرارت ماپتا ہے جہاں ویفر واقع ہے؛ اس لئے ٹول کی تیاری کے دوران اس کی نصب کی گہرائی اور پروسیس سطح سے اس کا رابطہ مخصوص کیا جاتا ہے۔ PID کو ٹیون کرنے اور پروفائل کی تصدیق کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے۔ یکبار جب یہ صحیح طریقے سے نصب ہو جائے، تو یہ مستقل طور پر کام کرتا رہتا ہے… بشرطیکہ اسے پروسیس کا حصہ ہی سمجھا جائے، نہ کہ کوئی الگ عنصر۔