
فیبریکیشن لین میں، ویفر کو خشک کرنے یا فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران پیدا ہونے والی حرارتی تغیرات، کوئی سنگین نقصان کا سبب نہیں بنتے۔ لیکن ان کی وجہ سے پروڈکشن کی کارکردگی متاثر ہوتی ہے، CD کی تقسیم میں تغیرات پیدا ہوتے ہیں، اور ریورک وارک کی ضرورت پڑتی ہے، جس سے وقت ضائع ہوتا ہے۔ جب حرارتی توازن برقرار رکھنا ضروری ہوتا ہے، تو ہاٹ اسپاٹس، کولڈ ایجز، یا ترتیبات میں تغیرات کی کوئی گنجائش نہیں رہتی۔
جو چیزیں اہم ہیں:
ہم نے ٹوین-ٹیوب انفراریڈ ہیٹر کو شارٹ-ویو کوارٹز ایمیٹرز کی مدد سے تیار کیا ہے۔ یہ ایمیٹرز تیزی سے اور براہِ راست توانائی فراہم کرتے ہیں، اور ردِعمل بھی فوری ہوتا ہے۔ ٹوین-ٹیوب ڈیزائن کی وجہ سے توانائی کثافت برقرار رہتی ہے، اور اس کی وجہ سے جگہ کی کوئی ضرورت نہیں پڑتی۔ اس طرح یہ ہیٹر سپن ٹریکس، کوٹ/بیک ماڈیولز، اور کیورنگ اسٹیشنز میں آسانی سے استعمال کیا جاسکتا ہے۔ ایکٹیو زون میں درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، اور کنٹرول لوپ ایسے ہی ترتیب دیا گیا ہے کہ پروڈکشن کی کارکردگی ہر بار یکساں رہے۔ کلین روم کے ماحول کے لحاظ سے، یہ ہیٹر بہترین ہے؛ کیوں کہ اس کے استعمال سے ذرات کی پیداوار صفر کے قریب رہتی ہے، جو کہ کلاس 1–100 کے ماحول کے لئے ضروری ہے۔
یہ ہیٹر ہماری دنیا میں کیوں مفید ہے؟
ویفر کو خشک کرنے اور صاف کرنے کے عمل میں وقت کم لگتا ہے، کیوں کہ انفراریڈ شعاعیں براہِ راست ویفر پر پڑتی ہیں، نہ کہ پورے فضاء کو گرم کرتی ہیں۔ فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ میں، لیمپ مستقل درجہ حرارت فراہم کرتا ہے، جس سے لائنوں کی سطح کی یکسانیت برقرار رہتی ہے، اور حرارتی عدم یکسانیت کی وجہ سے پیدا ہونے والے نقائص کم ہوجاتے ہیں۔ پیکیجنگ کے لئے، یہ ہیٹر انکیپسولنٹس اور انڈرفلز کے لئے یکساں درجہ حرارت فراہم کرتا ہے، جس سے گلاس ٹرانزیشن اور چپکنے کی خصوصیات بہتر رہتی ہیں۔ اس کے علاوہ، لیمپ صرف مطلوبہ حصے کو ہی گرم کرتا ہے، لہذا توانائی کی بچت بھی ہوتی ہے۔ اس ہیٹر کی قابلِ اعتمادی بھی ثابت ہوچکی ہے؛ کیوں کہ یہ 5,000 گھنٹوں تک کام کرسکتا ہے، اور اس کی کارکردگی میں 5% سے کم کمی واقع ہوتی ہے۔
جو چیزیں سیکھنے میں مشکل ہیں:
انفراریڈ شعاعیں صرف سیدھی لکیر میں ہی سفر کرتی ہیں۔ دھاتی اجزاء حرارت کو منعکس کرسکتے ہیں، اور چکس سایے پیدا کرتے ہیں؛ لہذا کچھ جگہوں پر حرارت زیادہ یا کم ہوسکتی ہے۔ اس لئے لیمپ کی جگہ کا انتخاب بہت احتیاط سے کرنا ضروری ہے۔ ہم آپ کو واضح ہدایات دیتے ہیں، اور تنصیب کے وقت ایک بار ہی لیمپ کو درست کرنے کی سفارش کرتے ہیں۔ اس کے بعد، لیمپ ویسے ہی کام کرتا رہتا ہے، اور آپ کو صرف باقاعدگی سے لیمپ کو تبدیل کرنے کی ضرورت ہے۔