Trong khu vực in ấn bằng phương pháp lithography, sự thay đổi nhỏ về vị trí của bệ quang học cũng có thể gây ra sai số trong việc đo độ dày lớp phim photoresist. Độ chính xác của quá trình nung khô lớp photoresist phụ thuộc vào mức độ ổn định nhiệt độ dưới tác động của chùm tia. Điều cần thiết là có một bộ sưởi không chỉ cung cấp nhiệt mà còn kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi chế tạo bộ sưởi cho SEM từ các vật liệu ít giải phóng khí, cùng với bộ đèn halogen/quartz có khả năng phản ứng nhanh, ngay tại vị trí cần thiết. Trong khu vực đo lường, độ đồng đều của nhiệt độ trên từng wafer được duy trì ở mức ±0,1°C, và độ chính xác của giá trị nhiệt độ được duy trì ở mức ±0,05°C.
Hệ thống hoạt động mà không gây ra bất kỳ sự cố nào, đáp ứng tiêu chuẩn phòng sạch cấp 1–100 mà không ảnh hưởng đến tính toàn vẹn của buồng kiểm tra. Dòng điện được điều chỉnh sao cho nhiệt độ nung khô luôn ở mức ổn định; nhờ đó, việc kiểm soát độ rộng của đường kẻ và độ chính xác của dữ liệu đo lường vẫn được duy trì.
Độ tin cậy của hệ thống trong 24 giờ liên tục xuất phát từ việc kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác và các giao diện điện tử ổn định; nhờ đó, thời gian ngừng hoạt động do sự cố được giảm thiểu tối đa.
Tại sao điều này lại quan trọng?
Trong công việc đo lường bằng SEM, sự biến đổi nhiệt độ sẽ trực tiếp dẫn đến sai số trong kết quả đo lường, từ đó gây ra lãng phí nguyên vật liệu. Với bộ sưởi này, nhiệt độ của bệ quang học luôn ổn định, giúp dữ liệu về độ đồng đều của lớp phim photoresist luôn ổn định.
Kết quả là số lần đo lại giảm đi, chi phí sửa chữa cũng giảm, và lịch trình sản xuất vẫn được duy trì. Việc sử dụng năng lượng cũng được kiểm soát chặt chẽ, vì nhiệt lượng chỉ được áp dụng ở những vị trí cần thiết, và thời gian cần thiết để điều chỉnh nhiệt độ cũng được rút ngắn.
Những điều cần lưu ý khi lập kế hoạch
Việc lắp đặt phải được thực hiện một cách chính xác – cần đảm bảo khoảng cách cơ học phù hợp và khả năng cách nhiệt tốt, nếu không sẽ gây ra các con đường truyền nhiệt không mong muốn. Khả năng tương thích của bộ sưởi phụ thuộc vào cấu trúc của buồng kiểm tra và giao diện cảm biến trên bệ quang học; vì vậy chúng tôi sẽ kiểm tra sự tương thích và điều chỉnh các thiết lập điều khiển tại chỗ.
Hãy lên kế hoạch thực hiện một vài lần kiểm tra ngắn để xác định các thông số PID phù hợp với cấu hình SEM và loại wafer cụ thể của bạn.