在光刻车间里，哪怕是极微小的位移都会影响CD值的测量精度。而光刻胶的固化过程是否能够重复进行，取决于其在辐射下的热稳定性。因此，我们需要的是一种能够精确控制温度的加热器。
从技术层面来看，什么是重要的？ 我们使用的SEM加热器采用了低挥发性的材料，并配备了响应速度快的卤素/石英灯组，这样就能在需要的地方实现精准控温。在整个测量区域内，晶圆的均匀性可保持在±0.1°C以内，而设定点的重复性则可控制在±0.05°C以内。
该系统不存在任何颗粒物产生的问题，因此可以满足1-100级洁净室的标准，同时不会影响到腔体的完整性。供电系统经过精心设计，能够确保恒定的固化温度，从而使得线宽控制及温度重复性保持稳定。
24小时的可靠运行得益于精确的热循环控制以及稳定的电气接口，因此无需担心意外停机的问题。
为什么这很重要？ 在SEM测量中，温度的变化会直接导致测量误差，进而造成废品。有了这种加热器之后，载物台的温度可以在辐射作用下保持稳定，这样一来，不同批次之间的CD值才能保持统计上的稳定性。
这样，就需要重新测量的次数就会减少，返工量也会降低，生产计划也能得到保障。此外，由于热量只会在需要的地方释放，所以能源消耗也会更低，而且晶圆更换时的预热时间也可以缩短。
需要考虑的因素： 安装时必须非常精确——必须保证机械间隙和良好的热隔离效果，否则就会产生额外的热量。系统的兼容性则取决于腔体结构以及载物台传感器的接口，因此我们需要在现场对系统进行调试，以确定最佳的PID参数。