在晶圆加工过程中，由于晶圆干燥或光阻烘烤过程中产生的热偏差，并不会导致灾难性的故障。不过，这些热偏差会表现为成品率下降、晶圆表面温度分布不均，以及需要大量时间来处理返工问题。在热量控制严格的条件下，绝对不能出现局部过热或过冷的情况，同时温度设定值也必须保持稳定。
关键所在 我们设计的双管红外加热器采用了短波石英发射器，能够快速、直接地释放能量，响应速度极快。双管结构使得功率密度得到有效提升，而且不会占用太多空间，因此可以轻松安装在旋转装置、涂覆/烘烤模块以及固化装置中。在有效工作区域内，温度均匀性可保持在±0.1°C左右，同时控制回路经过精心设计，确保每次烘烤过程的结果都保持一致。此外，这种加热器还具备出色的洁净室适用性——其材料和结构设计使得颗粒生成量几乎为零，这正是1级到100级洁净环境所要求的。
为何它适合我们的应用场景 由于红外辐射能够直接照射到晶圆上，因此晶圆干燥和清洁的效率大大提高。而在光阻处理过程中，该加热器能够维持稳定的温度，从而改善晶圆表面的粗糙度，减少因温度不均而产生的缺陷。在封装过程中，它还能确保密封剂和填充材料的均匀固化，从而让玻璃化转变和粘合效果更加稳定。此外，由于加热器只针对目标区域进行加热，因此也能节省能源。其可靠性也得到了验证：该加热器可连续运行5,000小时以上，性能下降幅度不到5%。
需要避免的误区 红外辐射是沿直线传播的。金属部件会反射热量，而夹具则会产生阴影，从而导致局部过热或过冷的情况。因此，在安装时必须充分考虑光学结构和几何形状。我们会为您提供明确的安装指南，并建议在安装时进行一次校准。之后，加热器就能正常工作，只需按照规定的时间间隔更换即可。