晶圆加工设备用温度传感器

在制造过程中，如果加热板的位置出现半度的偏差，那可不会触发警报——但这样会造成巨大的损失。软烘烤和硬烘烤过程决定了产品的关键尺寸，而温度控制则至关重要。我们设计的晶圆温度传感器正是为了解决这个问题：它能够测量晶圆实际感受到的温度，而非仅依据加热器所显示的温度来判断。 真正重要的因素 这款传感器是为...