ফ্যাব ফ্লোরে, ঐ ডিফিউশন ফার্নেস ল্যাম্পটি কেবলমাত্র তাপের উৎস নয়; এটা তাপীয় অবস্থাকে নিয়ন্ত্রণ করে। সফট বেক বা হার্ড বেকে তাপমাত্রায় এমনকি এক ডিগ্রিরও ভুল হলেই ফটোরেজিস্টের গুণমান কমে যায়। লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়াও প্রভাবিত হয়; ফলে উৎপাদনের হার কমে যায়। আপনার প্রয়োজন হলো নিয়মিত, নির্ভুল ও দ্রুত তাপ।
আমরা কী তৈরি করেছি?
আমরা কোয়ার্টজ কভারের ভিতরে নিয়ার-ইনফ্রারেড (NIR) হ্যালোজেন উপাদান ব্যবহার করেছি। এর স্পেকট্রামটি সারফেস-কাপলড হিটিংয়ের জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়েছে; ফলে খুব দ্রুত তাপমাত্রা বৃদ্ধি পায়, আর সাবস্ট্রেটে কোনো অতিরিক্ত চাপ পড়ে না। পুরো প্রক্রিয়াজুড়ে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যেই থাকে। প্রতিক্রিয়ার গতি সেকেন্ডের মধ্যেই হয়; ফলে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা সহজ হয়। এই ডিজাইনটি কার্যকালে কোনো কণা উৎপন্ন করে না; আর এটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এ ব্যবহার করা যায়। পাওয়ার ডেনসিটি ফার্নেসের প্রয়োজনীয়তার সাথে মিলে যায়; ফলে 5,000+ ঘন্টা ধরেও আউটপুট স্থিতিশীল থাকে।
কেন এটা আপনার কাজের জন্য উপযুক্ত?
ডিফিউশন প্রক্রিয়ায় ধারাবাহিকতাই সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ—ডোপিং, ফিল্ম তৈরি, ইত্যাদি। ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ খুবই গুরুত্বপূর্ণ; কারণ এটা CD ও সাইডওয়াল অ্যাঙ্গেলকে নির্দিষ্ট মানে রাখে। এই ল্যাম্পটি এই দুটো কাজই করে। নিয়মিত তাপমাত্রা থাকলে তাপীয় চাপ কমে যায়, ত্রুটির ঝুঁকি কমে যায়, আর প্রক্রিয়ার সময়ও কমে যায়। পরিষ্কার অবস্থায় কাজ করলে কণার সংখ্যা কমে যায়; যা রেটিকল ও ওয়েফারের জন্য গুরুত্বপূর্ণ। দ্রুত প্রতিক্রিয়া ও কম স্ট্যান্ডবাই লসের কারণে শক্তি ব্যবহার কম হয়; আর দীর্ঘ কার্যকালের কারণে মেইনটেনেন্সের প্রয়োজন কমে যায়। ফলাফলঃ নিয়ন্ত্রণযোগ্য প্রক্রিয়া, কম বর্জ্য, এবং স্থিতিশীল উৎপাদন হার।
কোন বিষয়গুলো ঠিকমতো নিশ্চিত করা দরকার?
ইনস্টলেশনের সময় অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্ট ঠিক রাখা দরকার; আর ফিক্সচারগুলো যেন তাপীয় অবস্থাকে ব্যাহত না করে। ল্যাম্পটি উচ্চ পাওয়ার ডেনসিটিতে কাজ করে; তাই যথেষ্ট কুলিং ও পরিষ্কার বিদ্যুৎ ব্যবস্থা প্রয়োজন। ল্যাম্পটিকে ফার্নেস কন্ট্রোলারের PID প্যারামিটারগুলোর সাথে মিলিয়ে নেওয়া দরকার; যাতে অতিরিক্ত চাপ না পড়ে। প্রতিস্থাপনের পর কিছুক্ষণ সময় লাগে ল্যাম্পটি সম্পূর্ণভাবে স্থিতিশীল হতে। ত্রুটি এড়াতে ঘন্টার হিসাবেই ল্যাম্প প্রতিস্থাপন করা উচিত।