V rámci procesu zahřívání fotorezistu se určuje teplotní profil. Pokud dojde k posunu v oblasti s vysokou teplotou nebo pokud sklo začne deformovat, zmizí možnost kontroly teploty a výsledná kvalita produktu se zhorší. V továrnách na výrobu LCD panelů je substrát velký, citlivý na teplotu a nepřeje si nedbalou kontrolu. Naše infračervené ohřívače jsou navrženy tak, aby udržovaly tento teplotní profil stabilním, opakovaně reprodukovatelným a pod kontrolou.
Co je z hlediska techniky důležité
Naše NIR ohřívače dosahují rovnoměrnosti teploty na úrovni pod milimetr na velkých plochách substrátů, přičemž stabilita teploty na povrchu substrátu je ±0,1 °C. Mřížka kvartzo-halogenových zdrojů vyzařuje vysoký tok tepla, který rychle reaguje na změny teploty. Všechno je pečlivě regulováno, takže nastavená teplota zůstává v úzkých mezích během celého procesu zahřívání.
Kompatibilita s čistými prostory
Kompatibilita s čistými prostředími třídy 1–100 je integrována již od počátku. Materiály s nízkou mírou uvolňování plynů, uzavřené spoje a optimalizovaný průtok vzduchu zajistí konstantní počet částic a zabrání kontaminaci. Nulová generace částic během tepelných cyklů chrání vrstvu fotorezistu.
Proč to funguje
V litografii není zahřívání samostatným krokem – umožňuje celý proces. Pevná teplotní rovnoměrnost snižuje variabilitu velikosti linek a zkracuje jejich délku. Opakovanost procesu zajišťuje konzistentní výsledky mezi jednotlivými sériemi výrobků. Rychlá reakce na změny teploty zkracuje dobu procesu bez nadměrného zahřátí. Vysoká efektivita spojení snižuje spotřebu energie na jeden panel. Výsledkem jsou méně oprav, méně odpadu a spolehlivá kapacita výroby.
Co je potřeba vědět
Ohřívače jsou kompaktní a modulární, ale jejich integrace není tak jednoduchá. Je nutné přizpůsobit výkon svítidel geometrii komory, kalibrovat pyrometr podle emisivity skla a upravit průtok vzduchu tak, aby byla dosažena požadovaná rovnoměrnost teploty. Je potřeba naplánovat krátký testovací proces na naladění parametrů PID pro vaši sadu substrátů a rychlost dopravy.