V provozu výroby stačí odchylka teploty o 0,1 °C během zahřívání fotorezistentu k tomu, aby byla celá série 300mm desek znehodnocena. Infraredučení lampy určené k ohřevu meziprostředků slouží k zabránění této odchylky ještě předtím, než se vůbec objeví.
Jde o technické jádro celého řešení. Lampa využívá krátkovlnné infračervené emitory s rychle reagujícími kvartovými prvky – díky tomu dochází k rychlému a lokálnímu zahřátí. Rozložení teploty na povrchu meziprostředku zůstává v rozmezí ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost teploty zůstává v úzkých hranicích. Vlnová délka světla je nastavena tak, aby energie dopadala právě tam, kde je potřeba – do fotorezistentu – aniž by došlo k poškození podkladových dielektrik. Lampa funguje 24/7, nevytváří žádné částice a zajistuje čistý prostor od třídy 1 do třídy 100.
V litografii víme, jak to funguje. Mírné zahřátí pomáhá odstranit rozpouštědla a vytvořit správný profil fotorezistentu. Silné zahřátí naopak fixuje vzor před procesem leptání. Obě operace vyžadují stabilní a rovnoměrnou teplotu. Tato lampa udržuje teplotní profil meziprostředku stabilní, což snižuje variabilitu šířky linií a zabraňuje vzniku nežádoucích úprav po procesu vyvolávání.
Výsledkem je vyšší výtěžnost, méně oprav a spolehlivá kontrola rozměrů desek. Spotřeba energie také klesá, protože lampa zahřívá pouze cílovou oblast, nikoli celou plochu desky.
Několik praktických poznámek: Instalace vyžaduje pečlivou optickou zarovnání a montáž v prostředí s nízkým obsahem částic. Intenzita světla je kalibrována pro konkrétní typy meziprostředků, takže pokud se typ meziprostředku změní, může být potřeba rychle upravit nastavení teploty.
Plánujte počáteční integraci s vaším litografickým systémem a rozhraním pro řízení teploty již na počátku. Jakmile budou tyto komponenty sladěny, proces bude probíhat hladce.