Die richtige Temperatur für Bio-Sensor-Wafern erzielen
Wenn Sie schon einmal mit der Herstellung von Bio-Sensoren gearbeitet haben, wissen Sie, wie schwierig das ist. Die Oberfläche des Wafer muss heiß sein – doch gleichzeitig darf das Substrat nicht überhitzt werden. Es handelt sich dabei um ein echtes „Seiltanz“-Problem. Um das richtige Gleichgewicht zu finden, setzen wir auf Infrarotlampen sowie reflektierende Elemente, die mit Gold überzogen sind. Das Ziel ist einfach: Energieverschwendung vermeiden und jede Menge Wärme genau dorthin leiten, wo sie benötigt wird.
Warum Gold?
Die meisten Menschen verwenden Aluminiumreflektoren – doch diese funktionieren nicht gut. Sie nehmen einfach zu viel Energie auf. Wir haben stattdessen hochreines Gold verwendet, da es hervorragend dazu geeignet ist, Infrarotlicht zurückzusenden. Statt dass die Wärme in den Lampenkörper abgeleitet wird und dadurch Energie verschwendet wird, wird die Wärme direkt wieder auf den Wafer gelenkt.
Außerdem formen wir diese Reflektoren so, dass sie den Lichtstrahl bündeln. Dadurch entsteht eine konzentrierte Wärm Zone. Das bedeutet, dass man den Heizelement klein halten kann, während dennoch eine große Menge Wärme auf den Wafer abgegeben wird.
Umgang mit der Leistung
Beim Aufbau dieser Systeme muss man mit einer sehr hohen Leistungsdichte umgehen. Wir bauen diese Systeme so, dass sie schnell reagieren können. Das ist wichtig – schließlich könnten sonst die empfindlichen biologischen Schichten beschädigt werden. Doch hier kommt das Problem: Man muss auch auf die Kühlung achten. Da Gold so viel Energie abgibt, kann der hintere Teil der Lampe trotzdem überhitzen. Wenn das Gehäuse nicht richtig belüftet wird oder die Lüfter nicht stark genug sind, verbrennen die Filamente viel früher, als eigentlich nötig wäre.
Der Kompromiss
Gold ist zwar großartig – doch es ist sehr empfindlich. Tun Sie auf keinen Fall etwas, was diese Reflektoren beschädigen könnte. Selbst eine kleine Kratzspur auf der Goldschicht führt dazu, dass es an bestimmten Stellen kühler wird. Das führt wiederum zu ungleichmäßiger Trocknung der Wafer – und plötzlich ist die ganze Charge nutzlos.
Um diesem Problem vorzubeugen, tauschen wir normalerweise einfach den gesamten Reflektor aus. Das ist die einfachste Möglichkeit, sicherzustellen, dass jede Charge exakt gleich aussieht.