Verhindern Sie, dass eine defekte Lampe Ihre Produktionscharge zerstört
Bei der Erwärmung von Halbleitern stellt eine defekte Lampe ein echtes Problem dar. Es geht dabei nicht nur darum, dass die Erwärmung aufhört – wenn ein Quarzrohr unter hoher Belastung zerbricht, verwandelt es sich im Grunde in eine „Granate“, die die Oberfläche der Wafer mit Glasscherben und Metallschrott überschüttet. Ein solcher Vorfall bedeutet das Ende der gesamten Produktionscharge.
Wir haben viel Zeit investiert, um herauszufinden, wie man das verhindern kann.
Die Scherben im Inneren halten
Wir verwenden hochreinen geschmolzenen Quarz – dieser kann den plötzlichen Temperaturwechsel aushalten, ohne zu Rissen zu kommen. Doch damit hört es nicht auf: Wir fügen einerseits einen speziellen Schutzmantel oder eine beschichtete Barriere um die Lampe hinzu. Das ist wie ein „Sicherheitsnetz“. Falls das innere Filament versagt, bleiben die Scherben im Inneren des Mantels gefangen. Dadurch wird eine katastrophale Situation in eine kontrollierte Abschaltung verwandelt. Man verliert zwar eine Lampe, doch die Wafer bleiben erhalten.
Umgang mit der Hitze
Hochleistungslichtquellen werden extrem heiß. Wenn das Kühlsystem dem Anstieg der Umgebungstemperatur nicht standhalten kann, überhitzen die Enden der Lampe. Das setzt enorme Belastungen auf die Dichtungen der Lampe. Um dieses Problem zu lösen, haben wir die Position des Filaments angepasst. So trifft die Hitze auf die Wafer und nicht auf die Trager strukturen der Lampe. Dadurch wird verhindert, dass das Glas an den besonders empfindlichen Stellen weich wird oder Risse bekommt.
Der faire Kompromiss
Unsere Lampen sind so konzipiert, dass sie einfach als Ersatz verwendet werden können – somit müssen Sie nicht stundenlang auf die Reparatur warten. Doch es gibt einen kleinen Kompromiss: Da die Schutzbeschichtungen dazu dienen, die Wafer sauber zu halten, blockieren sie einen kleinen Teil der Infrarotstrahlung. Vielleicht müssen Sie die Leistungs-Einstellungen etwas erhöhen, um die gewünschten Erwärmungsgeschwindigkeiten zu erreichen.
Es handelt sich dabei um einen fairen Kompromiss. Wir möchten lieber, dass Sie zwei Sekunden Zeit investieren, um eine Einstellung anzupassen, anstatt zwei Tage damit zu verbringen, eine zerstörte Produktionscharge aufzuräumen.