http://lamp-ir.com/de/tags/diffusion/ Recent content in Diffusion on Quality IR Heating Lamps Hugo de Sat, 27 Jun 2026 05:27:31 +0800 http://lamp-ir.com/de/posts/semiconductor-diffusion-furnace-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 05:27:31 +0800 http://lamp-ir.com/de/posts/semiconductor-diffusion-furnace-lamp/ <p><img src="http://lamp-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Halbleiter Diffusionsofenlampe"></p> <p>Auf der Produktionsfläche ist die Lampe in diesem Diffusionsofen nicht einfach nur eine Wärmequelle – sie bestimmt vielmehr das gesamte thermische Verhalten des Ofens. Wenn die Temperatur auch nur um einen Grad falsch eingestellt wird, während des Weich- oder Hartbrennvorgangs, beginnt sich das Profil des Photoresists zu verändern. Dadurch leidet auch die Qualität der Lithografieprozesse. Was man braucht, ist eine Wärmequelle, die zuverlässig, präzise und schnell wirkt.</p> <p><strong>Was wir technisch umgesetzt haben:</strong><br> Wir verwenden Halogenlampen im Nahinfrarotspektrum, die in einer Quarzkapsel untergebracht sind. Das Spektrum ist so abgestimmt, dass eine effektive Oberflächenheizung <a href="https://o-yate.net">erreicht</a> wird – dadurch erfolgt eine schnelle Temperaturerhöhung mit minimalem Überschuss an Wärme auf dem Substrat. Über die gesamte Charge hinweg bleibt die Temperaturhomogenität bei ±0,1°C. Die Reaktionszeit beträgt weniger als eine Sekunde, wodurch eine präzise Temperaturkontrolle während des Prozesses gewährleistet wird. Bei der Nutzung entstehen keine Partikel, und die Lampe kann in Reinräumen der Klasse 1–100 verwendet werden, ohne dass es zu Ausgasungen kommt. Die Leistungsintensität passt sich den Anforderungen des Ofens an, und die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg <a href="https://goldisgood.com">stabil</a> – mit weniger als 5% Abfall.</p>